激光加工装置和激光加工方法

    公开(公告)号:CN101909808B

    公开(公告)日:2014-04-30

    申请号:CN200980102448.1

    申请日:2009-01-16

    Abstract: 提供一种用于在金属制工件(3)形成贯穿孔(6)的激光加工装置(10)和激光加工方法。第一激光加工方法包括用来自第一激光振荡机构(82)的纳秒激光束(L1)照射由旋转保持机构(12)保持的金属制工件(3)从而形成贯穿孔(6)的工序、以及当金属制工件(3)在旋转保持机构(12)的作用下旋转时用来自第二激光振荡机构(84)的皮秒激光束(L2)照射正旋转着的金属制工件(3)的贯穿孔(6)的内壁从而精加工贯穿孔(6)的工序。在形成贯穿孔(6)的工序的过程中,从金属制工件(3)的外侧抽吸金属蒸气。然后,从金属制工件(3)的外侧供给气体,并且从金属制工件(3)的内侧进行抽吸。在第二激光加工方法中,当贯穿的预孔(166)的径向被扩大时,保持该预孔(166)的出口侧压力比激光入射(或入口)侧压力低。

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