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公开(公告)号：CN114008734A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202080045294.3
申请日：2020-06-16
Applicant: 朗姆研究公司
Inventor： 拉梅什·钱德拉塞卡拉 , 迈克尔·菲利普·罗伯茨 , 保罗·康科拉 , 迈克尔·G·R·史密斯 , 布莱恩·约瑟夫·威廉姆斯 , 拉维·库马尔 , 普尔凯特·阿加瓦尔 , 阿德里安·拉沃伊
IPC: H01J37/18 , H01J37/32 , H01L21/683
Abstract: 一种用于抽空衬底处理系统中衬底下方的容积空间的方法包括：将所述衬底布置在衬底支撑件的升降机构上，以将所述衬底下方的容积空间限定在所述衬底与所述衬底支撑件的上表面之间。启动抽空步骤以抽空所述衬底下方的所述容积空间。所述抽空步骤包括经由穿过所述升降机构和围绕所述升降机构中的至少一者抽排所述衬底下方的所述容积空间。在所述抽空步骤期间降低所述升降机构以将所述衬底定位在所述衬底支撑件的上表面上；以及终止所述抽空步骤。
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