公开(公告)号：CN108630581B

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN201810217598.8

申请日：2018-03-16

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 钱骏 ,  普鲁沙塔姆·库马尔 ,  阿德里安·拉瓦伊 ,  翟佑 ,  耶利米·鲍尔温 ,  金孙齐

IPC分类号： H01L21/67

摘要： 本发明涉及衬底处理系统的前体蒸气供应系统中流监测的系统和方法。一种使用蒸气输送系统在衬底处理系统中输送汽化前体的方法包括：(a)在衬底的沉积时间段期间选择性地将推送气体供应到储存液体前体和汽化前体的安瓿的入口；(b)在所述沉积时间段期间测量安瓿出口处的推送气体和汽化前体的压力；(c)确定在沉积时间段期间的最大压力；(d)基于采样间隔和采样间隔期间的最大压力来确定针对所述沉积时间段的积分面积；(e)针对衬底的多个沉积时间段来重复(a)、(b)、(c)和(d)。

公开(公告)号：CN108630581A

公开(公告)日：2018-10-09

申请号：CN201810217598.8

申请日：2018-03-16

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 钱骏 ,  普鲁沙塔姆·库马尔 ,  阿德里安·拉瓦伊 ,  翟佑 ,  耶利米·鲍尔温 ,  金孙齐

IPC分类号： H01L21/67

CPC分类号： C23C16/45557 ,  C23C16/4485 ,  C23C16/45561 ,  C23C16/505 ,  C23C16/52 ,  H01L21/67253

摘要： 本发明涉及衬底处理系统的前体蒸气供应系统中流监测的系统和方法。一种使用蒸气输送系统在衬底处理系统中输送汽化前体的方法包括：(a)在衬底的沉积时间段期间选择性地将推送气体供应到储存液体前体和汽化前体的安瓿的入口；(b)在所述沉积时间段期间测量安瓿出口处的推送气体和汽化前体的压力；(c)确定在沉积时间段期间的最大压力；(d)基于采样间隔和采样间隔期间的最大压力来确定针对所述沉积时间段的积分面积；(e)针对衬底的多个沉积时间段来重复(a)、(b)、(c)和(d)。