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公开(公告)号：CN106167895A
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201610345779.X
申请日：2016-05-23
Applicant: 朗姆研究公司
Inventor： 拉梅什·钱德拉塞卡拉 , 萨昂格鲁特·桑普朗 , 尚卡尔·斯娃米纳森 , 弗兰克·L·帕斯夸里 , 康胡 , 阿德里安·拉瓦伊 , 爱德华·奥古斯提尼亚克 , 行则崎山 , 克洛伊·巴尔达赛罗尼 , 萨沙撒耶·瓦拉达拉简 , 巴莎·萨贾德 , 詹妮弗·L·彼得拉利亚
IPC: C23C16/455 , C23C16/50
Abstract: 本发明涉及用于改善流动均匀性的具有面板孔的低体积喷头。在半导体处理装置中的喷头可包括配置成改善原子层沉积期间的流动均匀性的面板通孔。该喷头可包括用于分配气体到衬底上的具有多个通孔的面板，其中所述面板包括小直径的通孔。例如，所述通孔中的每一个的直径可小于约0.04英寸。此外或可替代地，该喷头还可包括边缘通孔，这些边缘通孔沿具有大于正在处理的衬底直径的直径的环被周向地定位。该喷头可以是低体积喷头并且可包括邻近与喷头的充气容腔连通的一个或多个气体入口的挡板。具有小直径通孔和/或边缘通孔的面板能够改善总的膜非均匀性，能够改善在衬底边缘处的方位角膜非均匀性，并且能够在较高RF功率下执行操作。
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公开(公告)号：CN106167895B
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201610345779.X
申请日：2016-05-23
Applicant: 朗姆研究公司
Inventor： 拉梅什·钱德拉塞卡拉 , 萨昂格鲁特·桑普朗 , 尚卡尔·斯娃米纳森 , 弗兰克·L·帕斯夸里 , 康胡 , 阿德里安·拉瓦伊 , 爱德华·奥古斯提尼亚克 , 行则崎山 , 克洛伊·巴尔达赛罗尼 , 萨沙撒耶·瓦拉达拉简 , 巴莎·萨贾德 , 詹妮弗·L·彼得拉利亚
IPC: C23C16/455 , C23C16/50
Abstract: 本发明涉及用于改善流动均匀性的具有面板孔的低体积喷头。在半导体处理装置中的喷头可包括配置成改善原子层沉积期间的流动均匀性的面板通孔。该喷头可包括用于分配气体到衬底上的具有多个通孔的面板，其中所述面板包括小直径的通孔。例如，所述通孔中的每一个的直径可小于约0.04英寸。此外或可替代地，该喷头还可包括边缘通孔，这些边缘通孔沿具有大于正在处理的衬底直径的直径的环被周向地定位。该喷头可以是低体积喷头并且可包括邻近与喷头的充气容腔连通的一个或多个气体入口的挡板。具有小直径通孔和/或边缘通孔的面板能够改善总的膜非均匀性，能够改善在衬底边缘处的方位角膜非均匀性，并且能够在较高RF功率下执行操作。
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公开(公告)号：CN117594408A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311021015.1
申请日：2017-12-04
Applicant: 朗姆研究公司
Inventor： 亚斯万斯·兰吉尼 , 苏尼尔·卡普尔 , 爱德华·奥古斯提尼亚克 , 崎山行则
Abstract: 描述了用于消除与寄生电容相关联的阻抗的系统和方法。所述系统中的一个包括具有壳体的等离子体室。该壳体包括基座、位于基座上方以面向基座的喷头、以及位于喷头上方的顶板。该系统还包括耦合到等离子体室的射频(RF)传输线，其用于将经改进的RF信号传输到喷头。该系统包括耦合在距顶板预定距离内的分流电路。该分流电路耦合到RF传输线，以消除与壳体内的寄生电容相关联的阻抗。
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公开(公告)号：CN110301029B
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN201780086692.8
申请日：2017-12-04
Applicant: 朗姆研究公司
Inventor： 亚斯万斯·兰吉尼 , 苏尼尔·卡普尔 , 爱德华·奥古斯提尼亚克 , 崎山行则
Abstract: 描述了用于消除与寄生电容相关联的阻抗的系统和方法。所述系统中的一个包括具有壳体的等离子体室。该壳体包括基座、位于基座上方以面向基座的喷头、以及位于喷头上方的顶板。该系统还包括耦合到等离子体室的射频(RF)传输线，其用于将经改进的RF信号传输到喷头。该系统包括耦合在距顶板预定距离内的分流电路。该分流电路耦合到RF传输线，以消除与壳体内的寄生电容相关联的阻抗。
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公开(公告)号：CN110301029A
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：CN201780086692.8
申请日：2017-12-04
Applicant: 朗姆研究公司
Inventor： 亚斯万斯·兰吉尼 , 苏尼尔·卡普尔 , 爱德华·奥古斯提尼亚克 , 崎山行则
Abstract: 描述了用于消除与寄生电容相关联的阻抗的系统和方法。所述系统中的一个包括具有壳体的等离子体室。该壳体包括基座、位于基座上方以面向基座的喷头、以及位于喷头上方的顶板。该系统还包括耦合到等离子体室的射频(RF)传输线，其用于将经改进的RF信号传输到喷头。该系统包括耦合在距顶板预定距离内的分流电路。该分流电路耦合到RF传输线，以消除与壳体内的寄生电容相关联的阻抗。
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