公开(公告)号：CN101536603A

公开(公告)日：2009-09-16

申请号：CN200780042784.2

申请日：2007-11-12

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 彼得·诺顿 ,  约翰·迪斯汀蒂

IPC: H05B3/02

CPC classification number: G05B11/28

Abstract: 控制加热器以驱动负荷温度接近设定点的系统和方法。在每个1/2AC周期的开始，计算sigma－delta调制算法以确定该AC周期应当打开还是关闭。过去的实际占空比运行估算与所需的示出占空比对比，并且它们两个之间的差用来调整下一个1/2周期的输出。这产生伪随机脉冲序列输出，其不会包含会在被加热元件上产生不希望的小的周期性“波动”的明显周期性的部分。

公开(公告)号：CN102884611B

公开(公告)日：2015-10-07

申请号：CN201180022949.6

申请日：2011-03-29

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 彼得·诺顿 ,  查利·阿布德

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N27/226

Abstract: 本发明提供了用于检测衬底上的流体的系统。所述系统包括但不限于传感器板、第一电容传感器以及在其上将放置衬底的平台。所述第一电容传感器被安装在所述传感器板上。所述第一电容传感器具有用于发射信号的发射传感器焊盘、用于接收所述信号的接收传感器焊盘以及与接收传感器焊盘相连接的用于分析接收到的所述信号的模数转换器。所述平台离所述发射和接收传感器焊盘有第一距离。

公开(公告)号：CN104048776A

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：CN201410088246.9

申请日：2014-03-11

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 佛瑞德·埃格利 ,  约翰·迪斯汀蒂 ,  彼得·诺顿 ,  安德鲁·王

IPC: G01K7/13 ,  G01K7/02

CPC classification number: G01K7/13 ,  G01K1/026 ,  G01K7/023

Abstract: 本发明涉及用于三维温度梯度的多信道热电偶补偿，具体提供了一种使用热电偶的方法。所述方法包括但不限于：在被适配成接收热电偶信号的电连接器的两个或更多个单独部分的每个部分上设置至少一个温度传感器；测量所述两个或更多个部分的温度；并且基于具有所设置的温度传感器的所述两个或更多个单独部分的测得的温度值来计算所述电连接器的每个端子的温度。所述方法还包括但不限于：基于所述端子的测得的温度值或算得的温度值或它们的组合来计算输送所述热电偶信号的至少一个热电偶信道的端子的冷端温度。

公开(公告)号：CN104048776B

公开(公告)日：2018-03-20

申请号：CN201410088246.9

申请日：2014-03-11

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 佛瑞德·埃格利 ,  约翰·迪斯汀蒂 ,  彼得·诺顿 ,  安德鲁·王

IPC: G01K7/13 ,  G01K7/02

CPC classification number: G01K7/13 ,  G01K1/026 ,  G01K7/023

Abstract: 本发明涉及用于三维温度梯度的多信道热电偶补偿，具体提供了一种使用热电偶的方法。所述方法包括但不限于：在被适配成接收热电偶信号的电连接器的两个或更多个单独部分的每个部分上设置至少一个温度传感器；测量所述两个或更多个部分的温度；并且基于具有所设置的温度传感器的所述两个或更多个单独部分的测得的温度值来计算所述电连接器的每个端子的温度。所述方法还包括但不限于：基于所述端子的测得的温度值或算得的温度值或它们的组合来计算输送所述热电偶信号的至少一个热电偶信道的端子的冷端温度。

公开(公告)号：CN101536603B

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN200780042784.2

申请日：2007-11-12

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 彼得·诺顿 ,  约翰·迪斯汀蒂

IPC: G05D23/00 ,  H05B3/02

CPC classification number: G05B11/28

Abstract: 控制加热器以驱动负荷温度接近设定点的系统和方法。在每个1/2AC周期的开始，计算sigma-delta调制算法以确定该AC周期应当打开还是关闭。过去的实际占空比运行估算与所需的示出占空比对比，并且它们两个之间的差用来调整下一个1/2周期的输出。这产生伪随机脉冲序列输出，其不会包含会在被加热元件上产生不希望的小的周期性“波动”的明显周期性的部分。

公开(公告)号：CN102884611A

公开(公告)日：2013-01-16

申请号：CN201180022949.6

申请日：2011-03-29

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 彼得·诺顿 ,  查利·阿布德

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N27/226

Abstract: 本发明提供了用于检测衬底上的流体的系统。所述系统包括但不限于传感器板、第一电容传感器以及在其上将放置衬底的平台。所述第一电容传感器被安装在所述传感器板上。所述第一电容传感器具有用于发射信号的发射传感器焊盘、用于接收所述信号的接收传感器焊盘以及与接收传感器焊盘相连接的用于分析接收到的所述信号的模数转换器。所述平台离所述发射和接收传感器焊盘有第一距离。