公开(公告)号：CN113728421A

公开(公告)日：2021-11-30

申请号：CN202080029941.1

申请日：2020-04-14

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 米格尔·本杰明·瓦斯克斯 ,  埃米尔·德拉佩

IPC: H01L21/67

Abstract: 提供了一种用于四站式处理模块(QSM)的前级管道组件。在一些示例中，该前级管道组件包含：四个入口，每个入口能连接至所述QSM的处理模块的室端口；和出口，其能直接或间接连接至真空源。第一前级管道分岔邻近所述前级管道组件的所述出口而设置。两个第二分岔各自设置在所述第一前级管道分岔与相应的成对的所述入口之间。所述第一前级管道分岔和所述第二分岔将所述前级管道组件分为三个管段。各管段中的前级管道的相应的直径：在从所述入口中的至少一者至所述前级管道组件的所述出口的气体流方向上在相应的分岔处逐步增加，且在所述前级管道组件的相应的管段内不变。

公开(公告)号：CN115698375A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202180043441.8

申请日：2021-10-08

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 施瑞拉姆·瓦桑特·巴帕特 ,  潘卡杰·甘希亚姆·拉姆纳尼 ,  布莱恩·约瑟夫·威廉姆斯 ,  克里斯多夫·马修·琼斯 ,  柯蒂斯·W·贝利 ,  埃米尔·德拉佩 ,  纳格拉杰·尚卡尔

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/509

Abstract: 在一些示例中，无面板喷头包含：包括背板的主体，该主体没有面板或充气室；气体供应杆，其使得气体能进入喷头；以及阻流板，其被支撑在邻近背板或气体供应杆处。无面板喷头还可以包含用于在背板或气体供应杆中的阻流板空腔中支撑阻流板的至少一个支撑元件。

公开(公告)号：CN117916504A

公开(公告)日：2024-04-19

申请号：CN202280060811.3

申请日：2022-08-09

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 里格尔·马丁·布鲁宁 ,  埃米尔·德拉佩

IPC: F16K37/00 ,  H01L21/67

Abstract: 一种气动阀验证用的自动位检查特征，气动阀与气体线耦合，气体线与半导体设备处理室耦合。可填充气体线以维持被连接的阀呈关闭状态，在此状态下可激活螺线管以迫使气体流出而开启阀。可排放气动气体线以维持被连接的阀呈关闭状态，在此状态下可激活螺线管以迫使气体流至线中而施加压力以开启阀。取决于螺线管和/或阀的类型，一或多条气体线可耦合于螺线管与阀之间。公开一种自动验证阀是否正确连接至气动组件中的特定螺线管的方法。方法可致能特定螺线管是否开启期望阀的验证。

公开(公告)号：CN116324026A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202180069305.6

申请日：2021-10-05

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 泰迪亚斯·班福德 ,  乔治·雷耶斯 ,  埃米尔·德拉佩

IPC: C23C16/448

Abstract: 一种用于衬底处理系统中的处理室的蒸发器组件包含：储存罐，其被设置成储存并加热前体液体；以及蒸发器阀块，其被安装于所述储存罐上。所述蒸发器阀块包括：本体；多个阀，其安装于所述本体上；载气入口，其与所述储存罐流体连通；前体液体入口，其与所述储存罐流体连通；蒸气端口，其与所述储存罐流体连通，以及蒸气出口，其与所述处理室流体连通。所述多个阀中的每一个与包含在所述蒸发器阀块内的相应流动路径流体连通。