公开(公告)号：CN104769155B

公开(公告)日：2017-11-21

申请号：CN201380041627.5

申请日：2013-08-05

申请人： 普兰西欧洲股份公司 ,  威科仪器有限公司

发明人： 阿尔诺·普兰肯施泰纳 ,  克里斯蒂安·法伊斯特 ,  瓦迪姆·博古斯拉夫斯基 ,  亚历山大·I·古拉里 ,  张正宏

IPC分类号： C23C16/458 ,  C23C16/46 ,  H01L21/67

CPC分类号： H05B1/00 ,  C23C16/4585 ,  C23C16/46 ,  H01L21/67115

摘要： 本发明涉及用于机械支撑加热部件(100)的终端(10)，所述终端包括：底座部件(30)；安装部件(20)，所述安装部件(20)适用于支撑所述加热部件(100)；以及支撑部件(40)，其将所述底座部件(30)连接至所述安装部件(20)，所述支撑部件(40)允许所述加热部件(100)沿着径向轴线的位移和小于所述加热部件(100)的所述沿着径向轴线的位移的约10％的沿着切向轴线和/或轴向轴线的位移。

公开(公告)号：CN104769155A

公开(公告)日：2015-07-08

申请号：CN201380041627.5

申请日：2013-08-05

申请人： 普兰西欧洲股份公司 ,  威科仪器有限公司

发明人： 阿尔诺·普兰肯施泰纳 ,  克里斯蒂安·法伊斯特 ,  瓦迪姆·博古斯拉夫斯基 ,  亚历山大·I·古拉里 ,  张正宏

IPC分类号： C23C16/458 ,  C23C16/46 ,  H01L21/67

CPC分类号： H05B1/00 ,  C23C16/4585 ,  C23C16/46 ,  H01L21/67115

摘要： 本发明涉及用于机械支撑加热部件(100)的终端(10)，所述终端包括：底座部件(30)；安装部件(20)，所述安装部件(20)适用于支撑所述加热部件(100)；以及支撑部件(40)，其将所述底座部件(30)连接至所述安装部件(20)，所述支撑部件(40)允许所述加热部件(100)沿着径向轴线的位移和小于所述加热部件(100)的所述沿着径向轴线的位移的约10％的沿着切向轴线和/或轴向轴线的位移。