发明公开
- 专利标题: 用于机械支撑加热部件的终端
- 专利标题(英): Terminal for mechanical support of a heating element
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申请号: CN201380041627.5申请日: 2013-08-05
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公开(公告)号: CN104769155A公开(公告)日: 2015-07-08
- 发明人: 阿尔诺·普兰肯施泰纳 , 克里斯蒂安·法伊斯特 , 瓦迪姆·博古斯拉夫斯基 , 亚历山大·I·古拉里 , 张正宏
- 申请人: 普兰西欧洲股份公司 , 威科仪器有限公司
- 申请人地址: 奥地利乐特市
- 专利权人: 普兰西欧洲股份公司,威科仪器有限公司
- 当前专利权人: 普兰西欧洲股份公司,威科仪器有限公司
- 当前专利权人地址: 奥地利乐特市
- 代理机构: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理商 顾红霞; 彭会
- 优先权: 13/568,928 2012.08.07 US
- 国际申请: PCT/EP2013/002336 2013.08.05
- 国际公布: WO2014/023413 EN 2014.02.13
- 进入国家日期: 2015-02-05
- 主分类号: C23C16/458
- IPC分类号: C23C16/458 ; C23C16/46 ; H01L21/67
摘要:
本发明涉及用于机械支撑加热部件(100)的终端(10),所述终端包括:底座部件(30);安装部件(20),所述安装部件(20)适用于支撑所述加热部件(100);以及支撑部件(40),其将所述底座部件(30)连接至所述安装部件(20),所述支撑部件(40)允许所述加热部件(100)沿着径向轴线的位移和小于所述加热部件(100)的所述沿着径向轴线的位移的约10%的沿着切向轴线和/或轴向轴线的位移。
公开/授权文献
- CN104769155B 用于机械支撑加热部件的终端 公开/授权日:2017-11-21
IPC分类: