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公开(公告)号：CN111390394A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN202010321779.2
申请日：2020-04-22
申请人： 旭科新能源股份有限公司
IPC分类号： B23K26/362 , B23K26/03 , B23K26/40 , B23K26/16 , B23K26/70
摘要： 本发明公开了一种激光加工设备，包括：底座支架、用于释放和收取柔性材料的放收卷系统、用于承载放收卷系统释放的柔性材料的加工平台、用于清洁放收卷系统释放的柔性材料的清洁系统、用于定位柔性材料加工位置的成像系统、用于发出激光刻蚀柔性材料的激光加工系统及控制系统；加工平台设置于放收卷系统传递的柔性材料的下方，放收卷系统和清洁系统均设置于底座上，成像系统和激光加工系统均设置于加工平台上，放收卷系统、清洁系统、成像系统及激光加工系统均与控制系统信号连接。本发明具有微米级的加工精度，加工速度可达到1000mm/s，传动精度高、传动错误不累计，且加工时不存在应力的影响，不会出现崩边的现象，大大的提高了良品率。
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公开(公告)号：CN107482073A
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201710590940.4
申请日：2017-07-19
申请人： 旭科新能源股份有限公司
IPC分类号： H01L31/0392 , H01L31/18
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/0392 , H01L31/03923 , H01L31/03926 , H01L31/18
摘要： 一种铜铟镓硒柔性薄膜电池的钼层制备方法，它包括：a）选取优质的聚酰亚胺薄膜作为铜铟镓硒太阳能电池的衬底，用化学水浴法将聚酰亚胺薄膜表面清洗干净；b）采用多靶溅射方法，首先在聚酰亚胺薄膜的正面溅射至少一层疏松的钼层，然后在疏松的钼层上再溅射至少一层致密的钼层；其次在背面以同样方式溅射一层平衡正面钼层应力的镀层；多靶溅射至少包括3个溅射靶机，其中第一溅射靶机在聚酰亚胺薄膜的正面溅射疏松的钼层，第二溅射靶机在聚酰亚胺薄膜的背面溅射一层钼层，第三溅射靶机在正面疏松的钼层上面再溅射一层致密的钼层；它具有方法简单可靠，能防止聚酰亚胺柔性衬底产生卷曲的现象以及能防止铜铟镓硒柔性薄膜太阳能电池脱落及卷曲等特点。
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公开(公告)号：CN107299322A
公开(公告)日：2017-10-27
申请号：CN201710666503.6
申请日：2017-08-07
申请人： 旭科新能源股份有限公司
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： C23C14/246
摘要： 一种立式低温蒸发束源炉，它主要由用于盛放蒸发材料的坩埚和用于导引蒸发材料并垂直安装在坩埚上面与坩埚内部相通的喷管组成，所述的坩埚底部设置有用于给坩埚加热的坩埚加热器，喷管上、从上到下分别设置有3-50个用于调节喷管不同位置蒸发量的喷口；所述的坩埚内部或侧壁上设置有用于测量坩埚温度的坩埚热电偶；喷管上端部加料口上配制有密封盖；所述喷管内配置有用于喷管加热的喷管加热器，并在喷管内部还安装有用于喷管内温度测量的喷管热电偶，在所述喷管的喷口上配置有用于控制蒸发范围和使喷口处于同一直线的喷座；所述坩埚的外围还配置有用于屏蔽外部环境干扰坩埚内部温度的水冷屏蔽装置；它具有结构简单，使用方便可靠特点。
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公开(公告)号：CN107689401A
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201710827261.4
申请日：2017-09-14
申请人： 旭科新能源股份有限公司
IPC分类号： H01L31/048 , H01L31/18
CPC分类号： H01L31/048 , H01L31/1876
摘要： 一种用于柔性薄膜太阳能电池的卷对卷封装系统及方法，所述的系统包括控制系统、铺设机构、预热机构、层压机构、降温机构以及收卷机构，铺设机构由至少五个按照顺序依上下位置放置的放卷筒，每个放卷筒内分别卷绕有用于相互铺设在一起构成电池组件层的柔性前模、胶膜、电池层、胶膜和柔性背板；铺设机构后面设置有由1—30组预热热压模块组成的预热机构，在预热热压模块中形成有供电池组件层从中通过并被预热热压模块热压后初步粘连的预热通道；预热机构后面安装有供电池组件层通过并通过上下热压模块热压后能使各层之间完全粘连在一起的层压机构，该压机构包括1-99组热压模块；层压机构后面安装有主要起到降温作用的降温机构。
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公开(公告)号：CN106637091A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201710101282.8
申请日：2017-02-24
申请人： 旭科新能源股份有限公司
摘要： 用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉，包括导流件、吊装法兰、隔热屏、坩埚、导流加热器、坩埚加热器；所述隔热屏设在导流件和坩埚外围，所述导流件为管状空心结构，坩埚是具有一开口的罐状容器，导流件与坩埚通过开口相连通，所述导流件的侧壁设有可透射物料的喷孔；所述导流加热器设置在导流件外围，所述导流加热器设置通过具有绝缘性的固定环设置在导流件与隔热屏之间；所述坩埚加热器设置在坩埚外围，所述坩埚加热器设置设置在坩埚与隔热屏之间；所述隔热屏侧壁设有对应喷孔的通道，所述吊装法兰将导流件与隔热屏组装固定。
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公开(公告)号：CN111272798A
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN202010120846.4
申请日：2020-02-26
申请人： 旭科新能源股份有限公司
IPC分类号： G01N23/227 , G01N23/223
摘要： 本发明公开了一种柔性薄膜测试装置及柔性薄膜生产线，所述柔性薄膜测试装置包括：用于传输铜铟镓硒柔性薄膜的腔体，腔体的两侧分别设有用于传输铜铟镓硒柔性薄膜的进口和出口，腔体内设有用于支撑并导向铜铟镓硒柔性薄膜的导向辊，腔体的内壁上设有用于检测铜铟镓硒柔性薄膜的EDX检测装置，腔体内设有用于冷却EDX检测装置周围环境的冷却装置。本发明通过在腔体内加装EDX检测装置，在铜铟镓硒柔性薄膜生产时进行检测，可以及时发现蒸镀过程中出现的问题，及时进行工艺调整。提高了铜铟镓硒的成品率。本发明所提供的柔性薄膜生产线实现了对铜铟镓硒柔性薄膜的线上检测，提高了铜铟镓硒柔性薄膜的成品率，提高了铜铟镓硒柔性薄膜的生产效率。
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公开(公告)号：CN106637091B
公开(公告)日：2019-08-30
申请号：CN201710101282.8
申请日：2017-02-24
申请人： 旭科新能源股份有限公司
摘要： 用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉，包括导流件、吊装法兰、隔热屏、坩埚、导流加热器、坩埚加热器；所述隔热屏设在导流件和坩埚外围，所述导流件为管状空心结构，坩埚是具有一开口的罐状容器，导流件与坩埚通过开口相连通，所述导流件的侧壁设有可透射物料的喷孔；所述导流加热器设置在导流件外围，所述导流加热器设置通过具有绝缘性的固定环设置在导流件与隔热屏之间；所述坩埚加热器设置在坩埚外围，所述坩埚加热器设置设置在坩埚与隔热屏之间；所述隔热屏侧壁设有对应喷孔的通道，所述吊装法兰将导流件与隔热屏组装固定。
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公开(公告)号：CN107805791A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：CN201711165433.2
申请日：2017-11-21
申请人： 旭科新能源股份有限公司
CPC分类号： C23C14/562 , C23C14/352
摘要： 一种用于卷对卷磁控溅射镀膜系统的柔性衬底实时冷却装置，主要有一块与柔性衬底接触的冷却板，所述的冷却板与柔性衬底直接接触并且紧贴在一起；所述的冷却板的背面开设有冷却水槽，并在背面用密封圈配置有一块将冷却水槽密封其内的背板，在冷却板与背板之间形成有由冷却水槽构成的密闭冷却水流道，一外接水管从背板接入与所述的冷却水流道连通；所述的外接水管通过螺纹管旋接在背板上设置的螺纹水孔中；所述的背板和冷却板之间开设有用于密封圈嵌入的并实现密封的密封圈槽；所述背板上设置有多个螺纹通孔，在冷却板的内侧板面上对应设置有螺纹沉孔，并通过螺钉将背板从下面固定在冷却板的背面上；它具有结构合理，使用方便，冷却效果好等特点。
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公开(公告)号：CN207217560U
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201721177812.9
申请日：2017-09-14
申请人： 旭科新能源股份有限公司
IPC分类号： H01L31/048 , H01L31/18
摘要： 一种用于柔性薄膜太阳能电池的卷对卷封装系统，它包括控制系统、铺设机构、预热机构、层压机构、降温机构以及收卷机构，铺设机构由至少五个按照顺序依上下位置放置的放卷筒，每个放卷筒内分别卷绕有用于相互铺设在一起构成电池组件层的柔性前模、胶膜、电池层、胶膜和柔性背板；铺设机构后面设置有由1—30组预热热压模块组成的预热机构，在预热热压模块中形成有供电池组件层从中通过并被预热热压模块热压后初步粘连的预热通道；预热机构后面安装有供电池组件层通过并通过上下热压模块热压后能使各层之间完全粘连在一起的层压机构，该压机构包括1-99组热压模块；层压机构后面安装有主要起到降温作用的降温机构。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206599605U
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201720167639.8
申请日：2017-02-24
申请人： 旭科新能源股份有限公司
摘要： 用于薄膜太阳能电池制造的高温蒸发炉，包括导流件、吊装法兰、隔热屏、坩埚、导流加热器、坩埚加热器；所述隔热屏设在导流件和坩埚外围，所述导流件为管状空心结构，坩埚是具有一开口的罐状容器，导流件与坩埚通过开口相连通，所述导流件的侧壁设有可透射物料的喷孔；所述导流加热器设置在导流件外围，所述导流加热器设置通过具有绝缘性的固定环设置在导流件与隔热屏之间；所述坩埚加热器设置在坩埚外围，所述坩埚加热器设置设置在坩埚与隔热屏之间；所述隔热屏侧壁设有对应喷孔的通道，所述吊装法兰将导流件与隔热屏组装固定。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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