Invention Publication
CN107482073A 一种铜铟镓硒柔性薄膜电池的钼层制备方法
无效 - 驳回
- Patent Title: 一种铜铟镓硒柔性薄膜电池的钼层制备方法
- Patent Title (English): Method for preparing molybdenum layer of copper indium gallium selenium flexible film battery
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Application No.: CN201710590940.4Application Date: 2017-07-19
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Publication No.: CN107482073APublication Date: 2017-12-15
- Inventor: 张情情 , 张啸潮 , 张卫卫 , 朱家宽 , 刘杰鹏 , 高锦龙
- Applicant: 旭科新能源股份有限公司
- Applicant Address: 浙江省嘉兴市秀洲工业园区康和路嘉兴光伏科创园6#楼底楼东侧
- Assignee: 旭科新能源股份有限公司
- Current Assignee: 旭科新能源股份有限公司
- Current Assignee Address: 浙江省嘉兴市秀洲工业园区康和路嘉兴光伏科创园6#楼底楼东侧
- Agency: 杭州九洲专利事务所有限公司
- Agent 翁霁明
- Main IPC: H01L31/0392
- IPC: H01L31/0392 ; H01L31/18

Abstract:
一种铜铟镓硒柔性薄膜电池的钼层制备方法,它包括:a)选取优质的聚酰亚胺薄膜作为铜铟镓硒太阳能电池的衬底,用化学水浴法将聚酰亚胺薄膜表面清洗干净;b)采用多靶溅射方法,首先在聚酰亚胺薄膜的正面溅射至少一层疏松的钼层,然后在疏松的钼层上再溅射至少一层致密的钼层;其次在背面以同样方式溅射一层平衡正面钼层应力的镀层;多靶溅射至少包括3个溅射靶机,其中第一溅射靶机在聚酰亚胺薄膜的正面溅射疏松的钼层,第二溅射靶机在聚酰亚胺薄膜的背面溅射一层钼层,第三溅射靶机在正面疏松的钼层上面再溅射一层致密的钼层;它具有方法简单可靠,能防止聚酰亚胺柔性衬底产生卷曲的现象以及能防止铜铟镓硒柔性薄膜太阳能电池脱落及卷曲等特点。
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