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公开(公告)号：CN102047181B
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN200980119560.6
申请日：2009-05-27
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , C08L77/06 , G03F7/0226 , G03F7/40
Abstract: 本发明提供了具有正型光刻性能的新型感光性树脂组合物、使用该组合物的固化浮雕图案的制造方法以及具有该固化浮雕图案的半导体装置，所述感光性树脂组合物的保存稳定性优异，高感光度且曝光后的感光度的经时稳定性优异。本发明的感光性树脂组合物，其特征在于，包含：100质量份(A)含有下述通式(1){式中，X1、X2、Y1、Y2、l、m如权利要求所定义。}所示结构的羟基聚酰胺；0.01～30质量份(B)下述通式(2){式中，k、X、R1、R2、n、p、q如权利要求中所定义。}所示的含烷氧基烷基的化合物；以及1～100质量份(C)重氮醌化合物。
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公开(公告)号：CN101809064A
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN200980100559.9
申请日：2009-06-05
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
CPC classification number: G03F7/037 , C08L77/06 , G03F7/0387 , G03F7/0751
Abstract: 本发明提供一种感光特性优异、例如即使在200℃以下的加热固化条件下形成树脂膜时也能够赋予优异的膜特性的感光性树脂组合物、以及其中使用的聚酰胺树脂。本发明提供一种聚酰胺树脂，其含有下述式(1){式中，X是碳原子数为6～15的3价有机基团，m为0或2，m＝0时Y是碳原子数为6～35的2价有机基团，m＝2时Y是碳原子数为6～35的4价有机基团，R1是可以含有除碳以外的原子的、碳原子数为5～20的具有至少1个自由基聚合性的不饱和键基的脂肪族基团。}所表示的构成单元，使得重复数在2～150的范围内且该重复数在构成聚酰胺树脂的全部构成单元的总数的80～100％的范围内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102076740B
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN200980124615.2
申请日：2009-06-24
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , C08G69/26 , G03F7/0382 , G03F7/0751 , G03F7/40 , Y02P20/582
Abstract: 本发明提供一种新型碱可溶性树脂，其在制成感光性树脂组合物时，为高灵敏度，能够通过半导体装置的制造工序中通常使用的显影液(2.38重量％四甲基氢氧化铵水溶液)来形成图案，固化后的耐热性膜的机械强度优异，即玻璃化转变温度高，显影后的浮雕图案在丙二醇单甲醚中的溶解性优异。本发明所述的碱可溶性树脂在分子内具有下述通式(1)所示的结构，式(1)中，X1表示含有卤素原子的4价有机基团，Z1表示下述通式(2)所示的2价有机基团，并且m1表示1～200的整数；式(2)中，L1和L2在存在多个时分别独立地表示甲基或羟基，并且n1和n2表示0～3的整数。
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公开(公告)号：CN102076740A
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN200980124615.2
申请日：2009-06-24
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , C08G69/26 , G03F7/0382 , G03F7/0751 , G03F7/40 , Y02P20/582
Abstract: 本发明提供一种新型碱可溶性树脂，其在制成感光性树脂组合物时，为高灵敏度，能够通过半导体装置的制造工序中通常使用的显影液(2.38重量％四甲基氢氧化铵水溶液)来形成图案，固化后的耐热性膜的机械强度优异，即玻璃化转变温度高，显影后的浮雕图案在丙二醇单甲醚中的溶解性优异。本发明所述的碱可溶性树脂在分子内具有下述通式(1)所示的结构，式(1)中，X1表示含有卤素原子的4价有机基团，Z1表示下述通式(2)所示的2价有机基团，并且m1表示1～200的整数；式(2)中，L1和L2在存在多个时分别独立地表示甲基或羟基，并且n1和n2表示0～3的整数。
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公开(公告)号：CN102047181A
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN200980119560.6
申请日：2009-05-27
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , C08L77/06 , G03F7/0226 , G03F7/40
Abstract: 本发明提供了具有正型光刻性能的新型感光性树脂组合物、使用该组合物的固化浮雕图案的制造方法以及具有该固化浮雕图案的半导体装置，所述感光性树脂组合物的保存稳定性优异，高感光度且曝光后的感光度的经时稳定性优异。本发明的感光性树脂组合物，其特征在于，包含：100质量份(A)含有下述通式(1){式中，X1、X2、Y1、Y2、l、m如权利要求所定义。}所示结构的羟基聚酰胺；0.01～30质量份(B)下述通式(2){式中，k、X、R1、R2、n、p、q如权利要求中所定义。}所示的含烷氧基烷基的化合物；以及1～100质量份(C)重氮醌化合物。
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公开(公告)号：CN101809064B
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN200980100559.9
申请日：2009-06-05
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
CPC classification number: G03F7/037 , C08L77/06 , G03F7/0387 , G03F7/0751
Abstract: 本发明提供一种感光特性优异、例如即使在200℃以下的加热固化条件下形成树脂膜时也能够赋予优异的膜特性的感光性树脂组合物、以及其中使用的聚酰胺树脂。本发明提供一种聚酰胺树脂，其含有下述式(1){式中，X是碳原子数为6～15的3价有机基团，m为0或2，m＝0时Y是碳原子数为6～35的2价有机基团，m＝2时Y是碳原子数为6～35的4价有机基团，R1是可以含有除碳以外的原子的、碳原子数为5～20的具有至少1个自由基聚合性的不饱和键基的脂肪族基团。}所表示的构成单元，使得重复数在2～150的范围内且该重复数在构成聚酰胺树脂的全部构成单元的总数的80～100％的范围内。
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公开(公告)号：CN1910221B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200580002820.3
申请日：2005-01-18
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
CPC classification number: C08G73/10 , C08L79/08 , G03F7/0233 , G03F7/037 , Y10S430/107
Abstract: 本文公开了由以下通式(1)表示的羟基聚酰胺，其在主链结构中具有5-氨基间苯二甲酸衍生结构。在式中，m和n表示整数，X表示至少一种四价有机基团，Y表示至少一种具有5-氨基间苯二甲酸衍生结构的二价有机基团，Z表示至少一种二价有机基团。
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