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公开(公告)号：CN102076740B
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN200980124615.2
申请日：2009-06-24
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , C08G69/26 , G03F7/0382 , G03F7/0751 , G03F7/40 , Y02P20/582
Abstract: 本发明提供一种新型碱可溶性树脂，其在制成感光性树脂组合物时，为高灵敏度，能够通过半导体装置的制造工序中通常使用的显影液(2.38重量％四甲基氢氧化铵水溶液)来形成图案，固化后的耐热性膜的机械强度优异，即玻璃化转变温度高，显影后的浮雕图案在丙二醇单甲醚中的溶解性优异。本发明所述的碱可溶性树脂在分子内具有下述通式(1)所示的结构，式(1)中，X1表示含有卤素原子的4价有机基团，Z1表示下述通式(2)所示的2价有机基团，并且m1表示1～200的整数；式(2)中，L1和L2在存在多个时分别独立地表示甲基或羟基，并且n1和n2表示0～3的整数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102076740A
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN200980124615.2
申请日：2009-06-24
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , C08G69/26 , G03F7/0382 , G03F7/0751 , G03F7/40 , Y02P20/582
Abstract: 本发明提供一种新型碱可溶性树脂，其在制成感光性树脂组合物时，为高灵敏度，能够通过半导体装置的制造工序中通常使用的显影液(2.38重量％四甲基氢氧化铵水溶液)来形成图案，固化后的耐热性膜的机械强度优异，即玻璃化转变温度高，显影后的浮雕图案在丙二醇单甲醚中的溶解性优异。本发明所述的碱可溶性树脂在分子内具有下述通式(1)所示的结构，式(1)中，X1表示含有卤素原子的4价有机基团，Z1表示下述通式(2)所示的2价有机基团，并且m1表示1～200的整数；式(2)中，L1和L2在存在多个时分别独立地表示甲基或羟基，并且n1和n2表示0～3的整数。
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公开(公告)号：CN103765313A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201280042563.6
申请日：2012-08-31
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
IPC: G03F7/075 , C08F230/08 , C08F290/08 , C08G77/14 , C08G77/20 , G03F7/033 , G03F7/038 , H01L21/027
CPC classification number: C09D183/06 , C08F230/08 , C08F290/08 , C08G77/14 , C08G77/20 , C08L83/06 , C09D163/04 , C09D167/00 , C09D175/04 , G03F7/027 , G03F7/032 , G03F7/033 , G03F7/035 , G03F7/038 , G03F7/0388 , G03F7/0757 , C08L33/00 , C08L63/00 , C08L75/00
Abstract: 本发明提供一种感光性碱可溶有机硅树脂组合物，其含有：一分子内具有羧基或二羧酸酐基的碱可溶性有机硅树脂(A)；酸值为10～200mgKOH/g的碱可溶性树脂(B)；和光聚合引发剂(C)，该(A)成分或(B)成分具有光聚合性不饱和双键基团、或者该感光性碱可溶有机硅树脂组合物还含有具有光聚合性不饱和双键的化合物(D)。
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公开(公告)号：CN101827880A
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：CN200880111801.8
申请日：2008-12-24
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
CPC classification number: C08G73/14 , C08G69/26 , G03F7/0007 , G03F7/0233 , G03F7/038
Abstract: 提供一种碱可溶性树脂，所述碱可溶性树脂分子中不含卤素原子，灵敏度高，以相同曝光量、相同显影时间形成图案时的膜厚余量宽，能够用半导体装置的制造工序中通常使用的显影液(2.38％TMAH水溶液)进行显影，可溶于γ-丁内酯，且适用于感光性树脂组合物。提供一种树脂，其分子内具有下述通式(1)所示的结构。{式中，X1表示不含卤素原子的4价有机基团，并且Z1表示下述通式(2)所示的2价有机基团(式中，L1、L2和L3分别独立地表示氢原子或甲基，并且L4表示氢原子、甲基或羟基。)}
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公开(公告)号：CN104245846A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201380020944.9
申请日：2013-04-19
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
IPC: C08L83/04 , C08G77/04 , C08K5/32 , C08K5/3415 , C08K5/3435 , G03F7/004 , G03F7/075
CPC classification number: G03F7/0757 , C08G77/20 , C08G77/80 , C08K5/14 , C08K5/32 , G03F7/027 , C08L83/04
Abstract: 提供具有自由基交联性基团的聚硅氧烷组合物，所述组合物在大气下、24℃、常压、以及将波长400nm以下的光遮蔽的条件下静置24小时之后，使用电子自旋共振(ESR)装置测定时，具有g值2.034～1.984的峰，并且包含相对于组合物中的1g固体成分为0.1×10-6～120×10-6摩尔的自由基。
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公开(公告)号：CN101827880B
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN200880111801.8
申请日：2008-12-24
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
CPC classification number: C08G73/14 , C08G69/26 , G03F7/0007 , G03F7/0233 , G03F7/038
Abstract: 提供一种碱可溶性树脂，所述碱可溶性树脂分子中不含卤素原子，灵敏度高，以相同曝光量、相同显影时间形成图案时的膜厚余量宽，能够用半导体装置的制造工序中通常使用的显影液(2.38％TMAH水溶液)进行显影，可溶于γ-丁内酯，且适用于感光性树脂组合物。提供一种树脂，其分子内具有下述通式(1)所示的结构。{式中，X1表示不含卤素原子的4价有机基团，并且Z1表示下述通式(2)所示的2价有机基团(式中，L1、L2和L3分别独立地表示氢原子或甲基，并且L4表示氢原子、甲基或羟基。)}
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