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公开(公告)号：CN102047178B
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：CN200980118983.6
申请日：2009-05-25
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
Inventor： 涩井智史
CPC classification number: G03F7/0233 , C08G73/22 , C08L77/06 , C08L79/04 , G03F7/40
Abstract: 一种感光性树脂组合物，其特征在于，相对于100质量份(A)具有下述通式(1)：{式中，X1为具有至少2个碳原子的4价有机基团，Y1为具有至少2个碳原子的2价有机基团，并且m1为1～1000的整数。}所示的羟基酰胺结构的碱水溶液可溶性聚合物，含有1～50质量份(B)光产酸剂和1～40质量份(C)下述通式(2)：{式中，D1是选自氢原子、碳数1～6的烷基、链烯基及能交联的有机基团所组成的组中的至少一个基团，M1表示选自-CH2-、-O-及-S-所组成的组中的基团，Z1为2价有机基团，n1为0～4的整数，并且D1为多个时，多个D1可以相同也可以不同。}所示的化合物。
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公开(公告)号：CN101993537B
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201010254899.1
申请日：2010-08-12
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
IPC: C08G73/10 , G03F7/039 , H01L21/3105 , H01L23/29
Abstract: 本发明申请提供碱溶性聚合物、包含其的感光性树脂组合物及其用途，详细来说，提供固化收缩低(固化时残膜率高)的碱溶性聚合物、及固化后的图案形状优异的感光性树脂组合物、使用该组合物的固化浮雕图案的制造方法、以及具有该固化浮雕图案而成的半导体装置及发光装置。本发明申请的碱溶性聚合物，该碱溶性聚合物具有由选自由多元羧酸及其衍生物组成的组中的至少一种羧酸化合物与多元氨基化合物合成的结构，以及具有交联基、且能与前述多元羧酸或其衍生物反应的化合物由来的含交联基结构。
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公开(公告)号：CN101827880A
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：CN200880111801.8
申请日：2008-12-24
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
CPC classification number: C08G73/14 , C08G69/26 , G03F7/0007 , G03F7/0233 , G03F7/038
Abstract: 提供一种碱可溶性树脂，所述碱可溶性树脂分子中不含卤素原子，灵敏度高，以相同曝光量、相同显影时间形成图案时的膜厚余量宽，能够用半导体装置的制造工序中通常使用的显影液(2.38％TMAH水溶液)进行显影，可溶于γ-丁内酯，且适用于感光性树脂组合物。提供一种树脂，其分子内具有下述通式(1)所示的结构。{式中，X1表示不含卤素原子的4价有机基团，并且Z1表示下述通式(2)所示的2价有机基团(式中，L1、L2和L3分别独立地表示氢原子或甲基，并且L4表示氢原子、甲基或羟基。)}
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公开(公告)号：CN102047179B
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN200980119545.1
申请日：2009-05-25
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
Inventor： 涩井智史
CPC classification number: G03F7/40 , C08G73/1039 , C08G73/1046 , C08G73/1053 , C08G73/1064 , C08G73/1067 , C08G73/1071 , C08G73/1075 , C08G73/1078 , C08L79/08 , G03F7/0233
Abstract: 本发明提供一种环化树脂形成时的固化时残膜率较高、高灵敏度的、具有正型光刻性能的感光性树脂组合物，使用了该感光性树脂组合物的固化浮雕图案的制造方法、以及具有该固化浮雕图案而成的半导体装置。本发明的感光性树脂组合物包含：(A)具有特定的前体结构的碱性水溶液可溶性聚合物100质量份；(B)光产酸剂1～50质量份；以及(C)在羧基的α位具有至少1个选自由羟基、醚基和酯基构成的组中的官能团的碳原子数8以上的一元羧酸化合物5～20质量份。
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公开(公告)号：CN102047181A
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN200980119560.6
申请日：2009-05-27
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , C08L77/06 , G03F7/0226 , G03F7/40
Abstract: 本发明提供了具有正型光刻性能的新型感光性树脂组合物、使用该组合物的固化浮雕图案的制造方法以及具有该固化浮雕图案的半导体装置，所述感光性树脂组合物的保存稳定性优异，高感光度且曝光后的感光度的经时稳定性优异。本发明的感光性树脂组合物，其特征在于，包含：100质量份(A)含有下述通式(1){式中，X1、X2、Y1、Y2、l、m如权利要求所定义。}所示结构的羟基聚酰胺；0.01～30质量份(B)下述通式(2){式中，k、X、R1、R2、n、p、q如权利要求中所定义。}所示的含烷氧基烷基的化合物；以及1～100质量份(C)重氮醌化合物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102047179A
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN200980119545.1
申请日：2009-05-25
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
Inventor： 涩井智史
CPC classification number: G03F7/40 , C08G73/1039 , C08G73/1046 , C08G73/1053 , C08G73/1064 , C08G73/1067 , C08G73/1071 , C08G73/1075 , C08G73/1078 , C08L79/08 , G03F7/0233
Abstract: 本发明提供一种环化树脂形成时的固化时残膜率较高、高灵敏度的、具有正型光刻性能的感光性树脂组合物，使用了该感光性树脂组合物的固化浮雕图案的制造方法、以及具有该固化浮雕图案而成的半导体装置。本发明的感光性树脂组合物包含：(A)具有特定的前体结构的碱性水溶液可溶性聚合物100质量份；(B)光产酸剂1～50质量份；以及(C)在羧基的α位具有至少1个选自由羟基、醚基和酯基构成的组中的官能团的碳原子数8以上的一元羧酸化合物5～20质量份。
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公开(公告)号：CN103988127A
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201280060449.6
申请日：2012-12-06
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , C08G8/22 , C08G16/0225 , C08G61/02 , C08G61/127 , C08G61/128 , C08G2261/3424 , C08G2261/76 , C08L61/12 , C08L65/00 , G03F7/0045 , G03F7/022 , G03F7/0226 , G03F7/023 , G03F7/0236 , G03F7/038 , G03F7/0382 , G03F7/0384 , G03F7/039 , G03F7/0392 , G03F7/162 , G03F7/2004 , G03F7/30 , G03F7/322 , G03F7/40 , H01L21/56 , H01L23/293
Abstract: 本发明提供含有(A-1)具有下述通式(1)所示结构的树脂和(B)光产酸剂的感光性树脂组合物。式(1)中，X、R1～R7、m1～m4、n1、n2、Y和W分别如说明书中所规定。
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公开(公告)号：CN102047181B
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN200980119560.6
申请日：2009-05-27
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , C08L77/06 , G03F7/0226 , G03F7/40
Abstract: 本发明提供了具有正型光刻性能的新型感光性树脂组合物、使用该组合物的固化浮雕图案的制造方法以及具有该固化浮雕图案的半导体装置，所述感光性树脂组合物的保存稳定性优异，高感光度且曝光后的感光度的经时稳定性优异。本发明的感光性树脂组合物，其特征在于，包含：100质量份(A)含有下述通式(1){式中，X1、X2、Y1、Y2、l、m如权利要求所定义。}所示结构的羟基聚酰胺；0.01～30质量份(B)下述通式(2){式中，k、X、R1、R2、n、p、q如权利要求中所定义。}所示的含烷氧基烷基的化合物；以及1～100质量份(C)重氮醌化合物。
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公开(公告)号：CN102439520A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201180001254.X
申请日：2011-02-09
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
Inventor： 涩井智史
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0755 , G03F7/085 , G03F7/40
Abstract: 本发明提供一种显影残膜率高且高灵敏度、进而具有高伸长率和高保存稳定性的感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物含有羟基聚酰胺树脂(A)和光产酸剂(B)，所述羟基聚酰胺树脂(A)具有选自由下述通式(1)表示的结构和下述通式(2)表示的结构组成的组中的至少一种结构。{式(1)中，Z1、Z2和Z3分别独立地为2价有机基团，Z1、Z2和Z3中的至少一个具有脂环式结构或脂肪族结构，并且，m1为0或1的整数。}{式(2)中，Z1、Z2和Z3分别独立地为2价有机基团，Z1、Z2和Z3中的至少一个具有脂环式结构或脂肪族结构，并且，m1为0或1的整数。}。
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公开(公告)号：CN102439520B
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201180001254.X
申请日：2011-02-09
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
Inventor： 涩井智史
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0755 , G03F7/085 , G03F7/40
Abstract: 本发明提供一种显影残膜率高且高灵敏度、进而具有高伸长率和高保存稳定性的感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物含有羟基聚酰胺树脂(A)和光产酸剂(B)，所述羟基聚酰胺树脂(A)具有选自由下述通式(1)表示的结构和下述通式(2)表示的结构组成的组中的至少一种结构。{式(1)中，Z1、Z2和Z3分别独立地为2价有机基团，Z1、Z2和Z3中的至少一个具有脂环式结构或脂肪族结构，并且，m1为0或1的整数。}{式(2)中，Z1、Z2和Z3分别独立地为2价有机基团，Z1、Z2和Z3中的至少一个具有脂环式结构或脂肪族结构，并且，m1为0或1的整数。}。
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