公开(公告)号：CN101809064A

公开(公告)日：2010-08-18

申请号：CN200980100559.9

申请日：2009-06-05

Applicant: 旭化成电子材料株式会社

Inventor： 木村正志 ,  金田隆行 ,  丹羽基博 ,  平田竜也 ,  本多正树

IPC: C08G69/26 ,  C08G73/22 ,  G03F7/027 ,  G03F7/075 ,  G03F7/085 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/037 ,  C08L77/06 ,  G03F7/0387 ,  G03F7/0751

Abstract: 本发明提供一种感光特性优异、例如即使在200℃以下的加热固化条件下形成树脂膜时也能够赋予优异的膜特性的感光性树脂组合物、以及其中使用的聚酰胺树脂。本发明提供一种聚酰胺树脂，其含有下述式(1){式中，X是碳原子数为6～15的3价有机基团，m为0或2，m＝0时Y是碳原子数为6～35的2价有机基团，m＝2时Y是碳原子数为6～35的4价有机基团，R1是可以含有除碳以外的原子的、碳原子数为5～20的具有至少1个自由基聚合性的不饱和键基的脂肪族基团。}所表示的构成单元，使得重复数在2～150的范围内且该重复数在构成聚酰胺树脂的全部构成单元的总数的80～100％的范围内。

公开(公告)号：CN101809064B

公开(公告)日：2012-06-13

申请号：CN200980100559.9

申请日：2009-06-05

Applicant: 旭化成电子材料株式会社

Inventor： 木村正志 ,  金田隆行 ,  丹羽基博 ,  平田竜也 ,  本多正树

IPC: C08G69/26 ,  C08G73/22 ,  G03F7/027 ,  G03F7/075 ,  G03F7/085 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/037 ,  C08L77/06 ,  G03F7/0387 ,  G03F7/0751

Abstract: 本发明提供一种感光特性优异、例如即使在200℃以下的加热固化条件下形成树脂膜时也能够赋予优异的膜特性的感光性树脂组合物、以及其中使用的聚酰胺树脂。本发明提供一种聚酰胺树脂，其含有下述式(1){式中，X是碳原子数为6～15的3价有机基团，m为0或2，m＝0时Y是碳原子数为6～35的2价有机基团，m＝2时Y是碳原子数为6～35的4价有机基团，R1是可以含有除碳以外的原子的、碳原子数为5～20的具有至少1个自由基聚合性的不饱和键基的脂肪族基团。}所表示的构成单元，使得重复数在2～150的范围内且该重复数在构成聚酰胺树脂的全部构成单元的总数的80～100％的范围内。

公开(公告)号：CN101965542B

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN200980108251.9

申请日：2009-03-06

Applicant: 旭化成电子材料株式会社

Inventor： 木村正志 ,  平田竜也

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/004 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0757

Abstract: 本发明提供一种感光性聚有机硅氧烷组合物，其包括：(a)成分：聚有机硅氧烷100质量份；和(b)成分：光聚合引发剂0.1～20质量份。此处，该聚有机硅氧烷是通过将摩尔比在特定范围的通式(1)：R2Si(OH)2表示的硅烷醇化合物、通式(2)：R’Si(OR”)3表示的烷氧基硅烷化合物、及通式(3)：R’”Si(OR””)3表示的烷氧基硅烷化合物与选自由通式(4)：M(OR”””)4表示的金属醇盐、通式(5)：M’(OR”””)3表示的金属醇盐、及Ba(OH)2组成的组中的催化剂混合，在不添加水的条件下使其聚合而得到。上述通式(1)～(5)中的基团为权利要求中定义的基团。

公开(公告)号：CN102375336A

公开(公告)日：2012-03-14

申请号：CN201110225029.6

申请日：2011-08-04

Applicant: 旭化成电子材料株式会社

Inventor： 藤田充 ,  森田凉子 ,  平田竜也

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00 ,  H01L21/312

Abstract: 本发明提供一种即使在铜或铜合金上也能形成不会引起变色的固化膜的感光性树脂组合物、使用该感光性树脂组合物来形成图案的固化浮雕图案的制造方法以及半导体装置。一种感光性树脂组合物，其包含：(A)选自由作为聚酰亚胺前体的聚酰胺酸、聚酰胺酸酯、可作为聚噁唑前体的聚羟基酰胺、聚氨基酰胺、聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚苯并咪唑、聚苯并噻唑组成的组中的至少一种树脂：100质量份、(B)嘌呤衍生物：以100质量份该(A)树脂为基准为0.01～10质量份、以及(C)感光剂：以100质量份该(A)树脂为基准为1～50质量份。

公开(公告)号：CN101965542A

公开(公告)日：2011-02-02

申请号：CN200980108251.9

申请日：2009-03-06

Applicant: 旭化成电子材料株式会社

Inventor： 木村正志 ,  平田竜也

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/004 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0757

Abstract: 本发明提供一种感光性聚有机硅氧烷组合物，其包括：(a)成分：聚有机硅氧烷100质量份；和(b)成分：光聚合引发剂0.1～20质量份。此处，该聚有机硅氧烷是通过将摩尔比在特定范围的通式(1)：R2Si(OH)2表示的硅烷醇化合物、通式(2)：R’Si(OR”)3表示的烷氧基硅烷化合物、及通式(3)：R’”Si(OR””)3表示的烷氧基硅烷化合物与选自由通式(4)：M(OR”””)4表示的金属醇盐、通式(5)：M’(OR”””)3表示的金属醇盐、及Ba(OH)2组成的组中的催化剂混合，在不添加水的条件下使其聚合而得到。上述通式(1)～(5)中的基团为权利要求中定义的基团。

公开(公告)号：CN102375336B

公开(公告)日：2013-10-09

申请号：CN201110225029.6

申请日：2011-08-04

Applicant: 旭化成电子材料株式会社

Inventor： 藤田充 ,  森田凉子 ,  平田竜也

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00 ,  H01L21/312

Abstract: 本发明提供一种即使在铜或铜合金上也能形成不会引起变色的固化膜的感光性树脂组合物、使用该感光性树脂组合物来形成图案的固化浮雕图案的制造方法以及半导体装置。一种感光性树脂组合物，其包含：(A)选自由作为聚酰亚胺前体的聚酰胺酸、聚酰胺酸酯、可作为聚噁唑前体的聚羟基酰胺、聚氨基酰胺、聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚苯并咪唑、聚苯并噻唑组成的组中的至少一种树脂：100质量份、(B)嘌呤衍生物：以100质量份该(A)树脂为基准为0.01～10质量份、以及(C)感光剂：以100质量份该(A)树脂为基准为1～50质量份。