感光性树脂组合物、以及使用其的聚酰亚胺固化膜的制造方法及聚酰亚胺固化膜

    公开(公告)号:CN116802560A

    公开(公告)日:2023-09-22

    申请号:CN202280011177.4

    申请日:2022-01-12

    Abstract: 提供具有低介电特性及低透湿性、能够以高分辨率形成固化浮雕图案的感光性树脂组合物等。本公开的感光性树脂组合物包含100质量份的选自聚酰亚胺及聚酰亚胺前体中的至少一种树脂、0.5~10质量份的感光剂、和100~300质量份的溶剂。将上述感光性树脂组合物于350℃下加热及固化而得到的聚酰亚胺固化膜的酰亚胺基浓度为12wt%~26wt%,上述树脂包含下述通式(14)所示的结构。#imgabs0#

    感光性树脂组合物、使用其的固化膜及其制造方法以及半导体装置

    公开(公告)号:CN118244580A

    公开(公告)日:2024-06-25

    申请号:CN202311776389.4

    申请日:2023-12-22

    Abstract: 涉及感光性树脂组合物、使用其的固化膜及其制造方法以及半导体装置。提供一种感光性树脂组合物,其可形成能够实现低介电特性(低介电损耗角正切及低介电常数)、高残膜率、规定的铜密合性的确保和规定的耐热性的确保的固化膜。一种感光性树脂组合物,其包含:(A)选自聚酰亚胺前体及聚酰亚胺中的至少1种成分、(B)光聚合引发剂、(C)溶剂和(D)下述通式(1)所示的含烯丙基化合物。(式(1)中,n1为0或1,n1为0时,R1为氢原子或1价非聚合性的有机基团,n1为1时,R1为2价有机基团。)#imgabs0#

    感光性树脂组合物、以及使用其的聚酰亚胺固化膜的制造方法及聚酰亚胺固化膜

    公开(公告)号:CN116868124A

    公开(公告)日:2023-10-10

    申请号:CN202280011117.2

    申请日:2022-01-12

    Abstract: 提供具有低介电特性、低透湿性及良好的耐化学药品性且能够以高分辨率形成固化浮雕图案的感光性树脂组合物等。本公开的感光性树脂组合物包含100质量份的聚酰亚胺前体树脂、0.5~10质量份的光聚合引发剂和50~500质量份的溶剂。上述聚酰亚胺前体树脂包含选自由下述通式(1)~(3)组成的组中的至少一种末端结构。并且,上述聚酰亚胺前体树脂的脂肪族烃基浓度T的合计值为4wt%~35wt%。#imgabs0#

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