Patent search ap:("旭化成株式会社") AND inv:"久保真依子" Page 1

1.

发明公开
感光性树脂组合物、使用其的固化膜及其制造方法以及半导体装置审中-实审

公开(公告)号：CN118244580A

公开(公告)日：2024-06-25

申请号：CN202311776389.4

申请日：2023-12-22

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 久保真依子 , 渋井智史

IPC: G03F7/004 , G03F7/027 , H01L21/027

Abstract: 涉及感光性树脂组合物、使用其的固化膜及其制造方法以及半导体装置。提供一种感光性树脂组合物，其可形成能够实现低介电特性(低介电损耗角正切及低介电常数)、高残膜率、规定的铜密合性的确保和规定的耐热性的确保的固化膜。一种感光性树脂组合物，其包含：(A)选自聚酰亚胺前体及聚酰亚胺中的至少1种成分、(B)光聚合引发剂、(C)溶剂和(D)下述通式(1)所示的含烯丙基化合物。(式(1)中，n1为0或1，n1为0时，R1为氢原子或1价非聚合性的有机基团，n1为1时，R1为2价有机基团。)#imgabs0#

Patent Agency Ranking