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公开(公告)号：CN114249912A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202111120614.X
申请日：2021-09-24
Applicant: 旭化成株式会社
Inventor： 松本凉香
IPC: C08J5/18 , C08L79/08 , G03F7/004 , G03F7/038 , H01L23/532
Abstract: 显示低介电损耗角正切、介电损耗角正切的频率依赖性少、热失重温度高的聚酰亚胺固化膜的制造方法。该方法包括：工序1，将包含聚酰亚胺前体的感光性树脂组合物涂布在基板上，在该基板上形成感光性树脂层；工序2，将所得感光性树脂层进行干燥/加热；工序3，对所得感光性树脂层进行曝光；工序4，对所得感光性树脂层进行显影；工序5，以150℃～250℃对残留在该基板上的感光性树脂层进行加热处理，形成固化膜，工序2和/或5在50托以上且580托以下的压力下实施，在所得聚酰亚胺固化膜的聚酰亚胺中，相对于包含源自四羧酸与二胺的结构的重复单元的分子量，酰亚胺基所占的比例即酰亚胺基浓度为12wt％～30wt％。
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公开(公告)号：CN114207522A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202080054993.4
申请日：2020-07-29
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/031 , G03F7/20 , G03F7/027 , H01L21/027
Abstract: 提供：即使焦点深度产生偏差也显示良好的分辨率、与模制树脂的粘接性良好、表现出低介电常数的负型感光性树脂组合物；使用该感光性树脂组合物的聚酰亚胺的制造方法；固化浮雕图案的制造方法；以及，具有该固化浮雕图案的半导体装置。一种负型感光性树脂组合物，其特征在于，包含含有通式(A1)所示的结构的聚酰亚胺前体、(B)光聚合引发剂和(C)溶剂。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114249912B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202111120614.X
申请日：2021-09-24
Applicant: 旭化成株式会社
Inventor： 松本凉香
IPC: C08J5/18 , C08L79/08 , G03F7/004 , G03F7/038 , H01L23/532
Abstract: 显示低介电损耗角正切、介电损耗角正切的频率依赖性少、热失重温度高的聚酰亚胺固化膜的制造方法。该方法包括：工序1，将包含聚酰亚胺前体的感光性树脂组合物涂布在基板上，在该基板上形成感光性树脂层；工序2，将所得感光性树脂层进行干燥/加热；工序3，对所得感光性树脂层进行曝光；工序4，对所得感光性树脂层进行显影；工序5，以150℃～250℃对残留在该基板上的感光性树脂层进行加热处理，形成固化膜，工序2和/或5在50托以上且580托以下的压力下实施，在所得聚酰亚胺固化膜的聚酰亚胺中，相对于包含源自四羧酸与二胺的结构的重复单元的分子量，酰亚胺基所占的比例即酰亚胺基浓度为12wt％～30wt％。
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公开(公告)号：CN116802560A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202280011177.4
申请日：2022-01-12
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/027
Abstract: 提供具有低介电特性及低透湿性、能够以高分辨率形成固化浮雕图案的感光性树脂组合物等。本公开的感光性树脂组合物包含100质量份的选自聚酰亚胺及聚酰亚胺前体中的至少一种树脂、0.5～10质量份的感光剂、和100～300质量份的溶剂。将上述感光性树脂组合物于350℃下加热及固化而得到的聚酰亚胺固化膜的酰亚胺基浓度为12wt％～26wt％，上述树脂包含下述通式(14)所示的结构。#imgabs0#
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公开(公告)号：CN118838117A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202411017968.5
申请日：2021-09-24
Applicant: 旭化成株式会社
Inventor： 松本凉香
Abstract: 本发明涉及聚酰亚胺固化膜以及显示低介电损耗角正切、介电损耗角正切的频率依赖性少、热失重温度高的聚酰亚胺固化膜的制造方法。该方法包括：工序1，将包含聚酰亚胺前体的感光性树脂组合物涂布在基板上，在该基板上形成感光性树脂层；工序2，将所得感光性树脂层进行干燥/加热；工序3，对所得感光性树脂层进行曝光；工序4，对所得感光性树脂层进行显影；工序5，以150℃～250℃对残留在该基板上的感光性树脂层进行加热处理，形成固化膜，工序2和/或5在50托以上且580托以下的压力下实施，在所得聚酰亚胺固化膜的聚酰亚胺中，相对于包含源自四羧酸与二胺的结构的重复单元的分子量，酰亚胺基所占的比例即酰亚胺基浓度为12wt％～30wt％。
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公开(公告)号：CN116868124A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202280011117.2
申请日：2022-01-12
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/027
Abstract: 提供具有低介电特性、低透湿性及良好的耐化学药品性且能够以高分辨率形成固化浮雕图案的感光性树脂组合物等。本公开的感光性树脂组合物包含100质量份的聚酰亚胺前体树脂、0.5～10质量份的光聚合引发剂和50～500质量份的溶剂。上述聚酰亚胺前体树脂包含选自由下述通式(1)～(3)组成的组中的至少一种末端结构。并且，上述聚酰亚胺前体树脂的脂肪族烃基浓度T的合计值为4wt％～35wt％。#imgabs0#
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公开(公告)号：CN114253076A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202111120619.2
申请日：2021-09-24
Applicant: 旭化成株式会社
Inventor： 松本凉香
Abstract: 感光性树脂组合物包含：(A)以下的通式(1)所示的聚酰亚胺前体100质量份；(B)光敏剂0.5～10质量份；及(D)溶剂100～300质量份，对该感光性树脂组合物脱溶剂而得到的即将曝光前的感光性树脂层的、红外吸收光谱中的1380cm‑1附近峰强度除以1500cm‑1附近峰强度所得到的该感光性树脂层的酰亚胺化指数除以将该感光性树脂组合物以350℃加热并固化而得到的聚酰亚胺固化膜的酰亚胺化指数而得的值、即酰亚胺化率为15％～50％，并且该聚酰亚胺固化膜的聚酰亚胺中，酰亚胺基在每个重复单元中所占的比例、即酰亚胺基浓度为12wt％～30wt％。式中，X1、Y1、n1、R1、R2规定于权利要求1中。
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