研磨液、研磨液套剂、研磨方法以及缺陷抑制方法

    公开(公告)号:CN111433311A

    公开(公告)日:2020-07-17

    申请号:CN201880077769.X

    申请日:2018-10-01

    Abstract: 一种研磨液,含有:包含从由氧化铈和氧化硅构成的群中选出的至少一种的磨粒、含氮化合物和水,所述含氮化合物含有从由以下化合物构成的群中选出的至少一种:(I)具有环内含1个氮原子的芳香环和羟基的化合物、(II)具有环内含1个氮原子的芳香环和含氮原子的官能团的化合物、(III)具有环内含2个氮原子的6元环的化合物、(IV)具有苯环和环内含氮原子的环的化合物,以及(V)具有结合有2个以上含氮原子的官能团的苯环。

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