公开(公告)号：CN102132212B

公开(公告)日：2013-08-28

申请号：CN200980132590.0

申请日：2009-09-02

申请人： 日立化成株式会社

发明人： 松谷宽 ,  上野巧 ,  亚历山大·尼古拉 ,  七海宪

IPC分类号： G03F7/023 ,  G03F7/004 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/0233 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/40 ,  H01L2224/13

摘要： 本发明提供一种正型感光性树脂组合物，其含有(A)具有酚羟基的碱溶性树脂、(B)通过具有碳原子数为4～100的不饱和烃基的化合物进行了改性的酚醛树脂、(C)通过光生成酸的化合物、(D)通过加热使(A)成分和(B)成分交联的热交联剂、和(E)溶剂。

公开(公告)号：CN102257431B

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：CN200980151852.8

申请日：2009-12-16

申请人： 日立化成株式会社

发明人： 松谷宽 ,  上野巧 ,  亚历山大·尼古拉 ,  山下幸彦 ,  七海宪 ,  谷本明敏

IPC分类号： G03F7/023 ,  G03F7/004 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

CPC分类号： H01L21/312 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/40 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/563 ,  H01L21/76801 ,  H01L21/76802 ,  H01L23/293 ,  H01L23/525 ,  H01L23/5329 ,  H01L24/13 ,  H01L2224/10126 ,  H01L2224/73104 ,  H01L2224/73203 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01009 ,  H01L2924/01011 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01016 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/30105 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/00

摘要： 本发明的正型感光性树脂组合物，含有具有酚羟基的碱可溶性树脂、通过光生成酸的化合物、热交联剂、和丙烯酸树脂。根据本发明的正型感光性树脂组合物，可以提供一种能够用碱水溶液显影，并且能够以充分高的灵敏度和分辨率形成粘附性和耐热冲击性优异的抗蚀图形的正型感光性树脂组合物。

公开(公告)号：CN101855596B

公开(公告)日：2013-05-22

申请号：CN200880115804.9

申请日：2008-11-07

申请人： 日立化成株式会社

发明人： 松谷宽 ,  上野巧 ,  亚历山大·尼古拉 ,  七海宪

IPC分类号： G03F7/023 ,  G03F7/004 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027 ,  H01L23/12

CPC分类号： H01L23/3171 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/40 ,  H01L23/3114 ,  H01L24/13 ,  H01L2224/05001 ,  H01L2224/05008 ,  H01L2224/05022 ,  H01L2224/05024 ,  H01L2224/05124 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/056 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/15788 ,  H01L2924/181 ,  Y10T428/24479 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00014

摘要： 本发明的正型感光性树脂组合物，其含有(A)通过具有碳数为4～100的不饱和烃基的化合物改性的酚醛树脂、(B)通过光生成酸的化合物、(C)热交联剂、和(D)溶剂。本发明的正型感光性树脂组合物，具有可以使用碱水溶液进行显影，以及能够以足够高的光感度和分辨率，形成粘附性优异且具有良好耐热冲击性的抗蚀图形的效果。

公开(公告)号：CN103091987B

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201310016907.2

申请日：2009-12-16

申请人： 日立化成株式会社

发明人： 松谷宽 ,  上野巧 ,  亚历山大·尼古拉 ,  山下幸彦 ,  七海宪 ,  谷本明敏

IPC分类号： G03F7/039 ,  G03F7/00 ,  H01L21/027

CPC分类号： H01L21/312 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/40 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/563 ,  H01L21/76801 ,  H01L21/76802 ,  H01L23/293 ,  H01L23/525 ,  H01L23/5329 ,  H01L24/13 ,  H01L2224/10126 ,  H01L2224/73104 ,  H01L2224/73203 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01009 ,  H01L2924/01011 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01016 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/30105 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/00

摘要： 本发明涉及正型感光性树脂组合物、抗蚀图形的制造方法、半导体装置以及电子器件。本发明的正型感光性树脂组合物，含有具有酚羟基的碱可溶性树脂、通过光生成酸的化合物、热交联剂、和丙烯酸树脂。根据本发明的正型感光性树脂组合物，可以提供一种能够用碱水溶液显影，并且能够以充分高的灵敏度和分辨率形成粘附性和耐热冲击性优异的抗蚀图形的正型感光性树脂组合物。