- 专利标题： 正型感光性树脂组合物、抗蚀图形的制造方法以及电子部件
- 专利标题（英）： Positive-type photosensitive resin composition, method for producing resist pattern, and electronic component
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申请号： CN200980132590.0申请日： 2009-09-02
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公开(公告)号： CN102132212B公开(公告)日： 2013-08-28
- 发明人: 松谷宽 , 上野巧 , 亚历山大·尼古拉 , 七海宪
- 申请人： 日立化成株式会社
- 申请人地址： 日本东京都千代田区丸内一丁目9番2号
- 专利权人： 日立化成株式会社
- 当前专利权人： 日立化成株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都千代田区丸内一丁目9番2号
- 代理机构： 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 钟晶; 李昆岐
- 优先权： 2008-227182 2008.09.04 JP
- 国际申请： PCT/JP2009/065336 2009.09.02
- 国际公布： WO2010/026988 JA 2010.03.11
- 进入国家日期： 2011-02-21
- 主分类号： G03F7/023
- IPC分类号： G03F7/023 ; G03F7/004 ; G03F7/40 ; H01L21/027
摘要：
本发明提供一种正型感光性树脂组合物，其含有(A)具有酚羟基的碱溶性树脂、(B)通过具有碳原子数为4～100的不饱和烃基的化合物进行了改性的酚醛树脂、(C)通过光生成酸的化合物、(D)通过加热使(A)成分和(B)成分交联的热交联剂、和(E)溶剂。
公开/授权文献
- CN102132212A 正型感光性树脂组合物、抗蚀图形的制造方法以及电子部件 公开/授权日：2011-07-20
IPC分类:
