光波导的制造方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101517445A

    公开(公告)日:2009-08-26

    申请号:CN200780034484.X

    申请日:2007-09-18

    Abstract: 本发明提供一种光波导的制造方法,具有:使在基体材料上形成的用于形成包层的树脂固化而形成下部包层的工序、在该下部包层上层压用于形成芯层的树脂薄膜而形成芯层的工序、将该芯层曝光显影而形成芯图案的工序、以及使为了埋入该芯图案而形成的用于形成包层的树脂固化而形成上部包层的工序,其特征在于,形成该芯层的工序具有(1)使用辊压层合机在下部包层上暂时贴合用于形成芯层的树脂薄膜的工序和(2)在减压氛围下将该已暂时贴合的用于形成芯层的树脂薄膜热压粘合的工序。能够提供生产性良好地制造具有均匀的芯的光波导的方法。

    光波导的制造方法以及由该制造方法所得到的光波导

    公开(公告)号:CN101802667B

    公开(公告)日:2014-02-19

    申请号:CN200880107301.7

    申请日:2008-09-18

    CPC classification number: G02B6/138 G02B6/1221 G02B6/136 G03F7/322

    Abstract: 本发明提供一种光波导的制造方法,其具有以下工序:在基材上形成由感光性树脂组合物所形成的感光性树脂层的工序,曝光所希望图案的工序,以及使用含有2价以上金属离子的碱性显影液进行显影的工序;本发明还提供光波导的制造方法,其具有以下工序:在基材上形成由感光性树脂组合物所形成的感光性树脂层的工序,曝光所希望图案的工序,使用碱性显影液进行显影的工序,以及使用含有2价以上金属离子的洗涤液或酸性水溶液进行洗涤的工序。本发明还提供一种透明性和可靠性优异的光波导的制造方法以及通过该制造方法所制造的光波导。

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