压电/电致伸缩膜型传感器

    公开(公告)号:CN101484791B

    公开(公告)日:2011-11-02

    申请号:CN200780025092.7

    申请日:2007-07-04

    Abstract: 本发明提供一种压电/电致伸缩膜型传感器20,其中,压电/电致伸缩体5含有碱金属或碱土金属,同时,该压电/电致伸缩体5的表面附近含有硫化物和端子电极18、19的主成分。该压电/电致伸缩膜型传感器20中,耐受电压以上的高电压难以作用于压电/电致伸缩体5,因此,可防止介质击穿,并且,难以带上静电,因而,可防止静电破坏,不吸引尘埃、尘土等。

    液滴吐出装置及液滴吐出装置的制造方法

    公开(公告)号:CN101801671B

    公开(公告)日:2013-08-07

    申请号:CN200980100423.8

    申请日:2009-03-26

    Abstract: 本发明提供一种增加了液滴吐出量的液滴吐出装置及该液滴吐出装置的制造方法。液滴吐出装置具有在基板上表面规则地排列多个振动体的结构。基板具有的结构为:具有大致平坦的上表面和下表面,在板的内部形成有空洞以及会成为液体流路的吐出孔和供给孔。空洞的横宽从基板的上表面侧朝着基板的下表面侧变窄。并且,空洞深度从供给孔侧朝着吐出孔侧变深。也可以是,在供给孔侧的占相对小范围的部分中,空洞深度从供给孔侧朝着吐出孔侧变浅,在吐出孔侧的占相对大范围的部分中,空洞深度从供给孔侧朝着吐出孔侧变深。基板是通过将具有对应于空洞的立体形状的立体形状的模具压入生片的上表面来制作。

    用于超声电机的压电致动器元件

    公开(公告)号:CN101507093B

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN200780030923.X

    申请日:2007-08-21

    CPC classification number: H01L41/0471 H01L41/0913 H02N2/004

    Abstract: 一种用于超声电机的压电致动器元件,由通过交替层叠压电层(10)和将压电层(10)分割为大致相等的两部分而形成的电极层(12)而构成的层叠压电元件(14)构成,并且使用一次纵向、二次弯曲的模式。从层叠压电元件(14)的表面部到厚度方向的中央部形成了压电非活性区域(11)。该压电致动器元件可以抑制位移降低且提高耐迁移性,并防止短路(short)的发生,同时可以使交流极化时的发热部位分散,提高可靠性。此外,可以减少电极的数量,降低成本。

    压电/电致伸缩膜型元件的制造方法

    公开(公告)号:CN101796664A

    公开(公告)日:2010-08-04

    申请号:CN200980100318.4

    申请日:2009-03-05

    Abstract: 本发明提供一种压电/电致伸缩膜型元件的制造方法,该制造方法能够防止空腔的平面位置与构成由电极膜以及压电/电致伸缩体膜层叠所得振动层叠体的膜的平面位置的偏离。在制造具有基板以及由在基板的表面对应于所述空腔的平面位置而设置的由下部电极膜、压电/电致伸缩膜以及上部电极膜层叠得到的振动层叠体的压电/电致伸缩膜型元件时,以在空腔里填充有遮光剂的基板为掩模通过光刻法形成下部电极膜。其后,向着下部电极膜使压电/电致伸缩材料的粉末电泳来形成压电/电致伸缩体膜的同时,以压电/电致伸缩体膜为掩模通过光刻法形成上部电极。也可以以下部电极膜为掩模通过光刻法形成压电/电致伸缩体膜。

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