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公开(公告)号：CN114378852B
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN202111170145.2
申请日：2021-10-08
Applicant: 日本电产三协株式会社
Inventor： 细川正己
Abstract: 本发明提供一种在抑制更换作业的劳力和时间的同时能够小型化的工业用机器人。手柱(30)具有驱动按压部件(31d)的驱动机构(4p)、引导按压部件(31d)在按压部件(31d)驱动时的移动的导向槽(4h)以及吸引气体的空气配管(4c)。当晶圆夹持手(31)被安装于手安装部(4m)时，能够形成将导向槽(4h)与空气配管(4c)连接的第一吸引通道。另外，当真空吸附手(32)被安装于手安装部(4m)时，能够形成将真空吸附手(32)的吸引孔(32b)与空气配管(4c)连接的第二吸引通道。
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公开(公告)号：CN114378837A
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202111170110.9
申请日：2021-10-08
Applicant: 日本电产三协株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够在使晶圆旋转的状态下进行搬运的制造成本低的工业用机器人的手和具备该工业用机器人的手的工业用机器人。手(14)具备：晶圆装载部(14a)；转动部(144)，其支承晶圆装载部(14a)且构成为绕沿Y方向延伸的轴旋转自如；按压部(145)，其被转动部(144)支承为向Y方向移动自如，且能够按压装载在晶圆装载部(14a)的晶圆(2)的端面；以及轴部件(146)，其与按压部(145)固定连接且构成为沿Y方向移动自如，轴部件(146)能够与转动部(144)的旋转连动而旋转，转动部(144)的旋转轴(AL)和轴部件(146)的轴中心(CP1)一致。
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公开(公告)号：CN110666784A
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201910555571.4
申请日：2019-06-25
Applicant: 日本电产三协株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够减小设置面积的工业用机器人。工业用机器人(1)具备手(10)、臂(20)、臂支承部(23)以及升降机构(30)，升降机构具有：包含进给丝杠轴(32)和支柱部(33)且沿上下方向延伸的直动导向件(31)、电动机(35)、将电动机的旋转向进给丝杠轴传递的旋转传递机构(40)，旋转传递机构具有通过电动机(35)驱动而旋转的输入旋转部件(41)、安装于进给丝杠轴(32)的下端部的输出旋转部件(43)、将从输入旋转部件(41)向输出旋转部件(43)传递的旋转减速的至少一个中继旋转部件(42)，在沿上下方向观察直动导向件(31)及输出旋转部件(43)的情况下，输出旋转部件(43)设于由直动导向件(31)覆盖的导向区域(B)内。
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公开(公告)号：CN112309932B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202010691182.7
申请日：2020-07-17
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种产业用机器人，包括具有以在左右方向上空开间隔的状态配置的两根支柱的门型的门型框架，即便可将搭载在手的搬送对象物在前后方向上搬送至离门型框架更远的位置为止，也可以防止臂与支柱的干涉。在产业用机器人中，若将第一臂部相对于臂支撑部的转动中心设为转动中心，将第二臂部相对于第一臂部的转动中心设为转动中心，将两根支柱之间的左右方向的中心位置设为支柱间中心，则当第一臂部相对于臂支撑部转动且转动中心在前后方向上配置在与转动中心相同的位置时，转动中心配置在与支柱间中心相比更靠左右方向的一侧的位置，另一方面，转动中心配置在与支柱间中心相比更靠左右方向的另一侧的位置。
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公开(公告)号：CN116262354A
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN202211596552.4
申请日：2022-12-12
Applicant: 日本电产三协株式会社
Abstract: 一种工业用机器人及其控制方法，在两个装载部在上下方向上重叠的状态下，即使保持搬运对象物的一个装载部以水平方向为转动的轴向转动，也能防止装载于另一个装载部的搬运对象物与保持于一个装载部的搬运对象物的干涉，且能使上下方向上的两个装载部的间隔变窄。在工业用机器人(1)中，手(4)具备用于检测在装载部(37)上是否装载有搬运对象物(2)的检测机构。在该工业用机器人中，在保持搬运对象物的装载部(17)相对于手基部(18)以水平方向为转动的轴向转动时，装载部以装载搬运对象物的一侧的面朝向上侧的状态停止。另外，当通过检测机构检测到在装载部上未装载搬运对象物时，使装载部转动而使装载部保持的搬运对象物上下翻转。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112309932A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN202010691182.7
申请日：2020-07-17
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种产业用机器人，包括具有以在左右方向上空开间隔的状态配置的两根支柱的门型的门型框架，即便可将搭载在手的搬送对象物在前后方向上搬送至离门型框架更远的位置为止，也可以防止臂与支柱的干涉。在产业用机器人中，若将第一臂部相对于臂支撑部的转动中心设为转动中心，将第二臂部相对于第一臂部的转动中心设为转动中心，将两根支柱之间的左右方向的中心位置设为支柱间中心，则当第一臂部相对于臂支撑部转动且转动中心在前后方向上配置在与转动中心相同的位置时，转动中心配置在与支柱间中心相比更靠左右方向的一侧的位置，另一方面，转动中心配置在与支柱间中心相比更靠左右方向的另一侧的位置。
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公开(公告)号：CN114378851B
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202111170058.7
申请日：2021-10-08
Applicant: 日本电产三协株式会社
Inventor： 细川正己
IPC: B25J15/00 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供一种能够可靠地保持晶圆而防止掉落的工业用机器人的手和具备该工业用机器人的手的工业用机器人。手(14)具备装载晶圆(2)的晶圆装载部(14a)和能够按压装载于晶圆装载部(14a)的晶圆(2)的端面的辊(145a)，辊(145a)的外周面(145a1)为直径从装载于晶圆装载部(14a)的晶圆(2)的背面侧朝向正面侧变大的锥面。
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公开(公告)号：CN112340432B
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202010783345.4
申请日：2020-08-06
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: B65G47/90 , B25J18/02 , H01L21/677
Abstract: 一种处理系统，当搬运机器人搬运处理对象物时，即使载在处理对象物上的物体从处理对象物洒落，也可抑制洒落的物体在处理装置外部扩散。在处理系统中，手移动机构使载置有处理对象物的手在第一位置和第二位置之间移动，在该第一位置，手配置于处理装置的内部，在该第二位置，手配置于处理装置的外部。用于接收从处理对象物掉落的物体的接收部件至少配置于载置在配置于第二位置的手上的处理对象物的下侧。在处理系统中，当载置有处理对象物的状态的手在第一位置和第二位置之间移动时，使接收部件的一部分沿手的往复移动方向移动的接收部件移动机构使接收部件的一部分向处理装置的内部移动并配置在处理装置的内部。
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公开(公告)号：CN112340432A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN202010783345.4
申请日：2020-08-06
Applicant: 日本电产三协株式会社
IPC: B65G47/90 , B25J18/02 , H01L21/677
Abstract: 一种处理系统，当搬运机器人搬运处理对象物时，即使载在处理对象物上的物体从处理对象物洒落，也可抑制洒落的物体在处理装置外部扩散。在处理系统中，手移动机构使载置有处理对象物的手在第一位置和第二位置之间移动，在该第一位置，手配置于处理装置的内部，在该第二位置，手配置于处理装置的外部。用于接收从处理对象物掉落的物体的接收部件至少配置于载置在配置于第二位置的手上的处理对象物的下侧。在处理系统中，当载置有处理对象物的状态的手在第一位置和第二位置之间移动时，使接收部件的一部分沿手的往复移动方向移动的接收部件移动机构使接收部件的一部分向处理装置的内部移动并配置在处理装置的内部。
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公开(公告)号：CN114378837B
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202111170110.9
申请日：2021-10-08
Applicant: 日本电产三协株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够在使晶圆旋转的状态下进行搬运的制造成本低的工业用机器人的手和具备该工业用机器人的手的工业用机器人。手(14)具备：晶圆装载部(14a)；转动部(144)，其支承晶圆装载部(14a)且构成为绕沿Y方向延伸的轴旋转自如；按压部(145)，其被转动部(144)支承为向Y方向移动自如，且能够按压装载在晶圆装载部(14a)的晶圆(2)的端面；以及轴部件(146)，其与按压部(145)固定连接且构成为沿Y方向移动自如，轴部件(146)能够与转动部(144)的旋转连动而旋转，转动部(144)的旋转轴(AL)和轴部件(146)的轴中心(CP1)一致。
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