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公开(公告)号：CN109817502A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201811363931.2
申请日：2018-11-16
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/02 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/22 , G06T3/60 , G06T5/00 , G06T5/50 , G06T7/00
Abstract: 提供带电粒子束装置，自动地重复进行摘出试样片并将其移设于试样片保持器的动作，该试样是通过基于离子束的试样的加工而形成的。带电粒子束装置具有计算机，该计算机对聚焦离子束照射光学系统进行控制，以使得在通过针保持试样片后，设定包含与试样的加工时的深度方向对应的试样片的厚度方向的底部在内的整形加工区域，对整形加工区域照射聚焦离子束而对试样片进行整形加工。
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公开(公告)号：CN108335962A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201810034728.4
申请日：2018-01-15
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/317 , G01N1/28 , H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20 , G01N23/2204 , G01N2223/418 , H01J37/222 , H01J37/28 , H01J37/3023 , H01J2237/208 , H01J2237/2817 , H01J2237/31745 , H01J37/317 , G01N1/28
Abstract: 本发明提供带电粒子束装置，其自动地重复进行取出通过离子束对试样的加工而形成的试样片并移置到试样片支架上的动作。该带电粒子束装置从试样自动地制作出试样片，其具有：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样台，其载置并移动试样；试样片移置单元，其保持从试样分离和取出的试样片并进行输送；支架固定台，其对移置有试样片的试样片支架进行保持；以及计算机，其在由试样片移置单元对试样片进行保持之后发生异常的情况下，进行使试样片移置单元所保持的试样片灭失的控制。
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公开(公告)号：CN111562149A
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN202010064575.5
申请日：2020-01-20
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01N1/28 , G01N1/32 , G01N23/2005 , H01J37/02 , H01J37/20 , H01J37/305
Abstract: 提供薄膜试样片制作方法和带电粒子束装置，能够抑制薄膜试样片的缺损。具有如下工序：从与试样(S)的表面的法线方向(z)交叉的第2方向照射会聚离子束(FIB2)而对试样(S)进行加工，从而制作出薄膜试样片(1)，并且制作出配置于试样(S)薄膜试样片(1)的厚度方向(x)的一侧并使薄膜试样片(1)连接于试样(S)的连结部(3)的工序；使试样(S)绕法线方向(z)旋转的工序；使对薄膜试样片(1)进行保持的探针连接于薄膜试样片(1)的工序；以及从与法线方向(z)交叉的第3方向向连结部(3)照射会聚离子束(FIB3)从而使薄膜试样片(1)从试样(S)分离出来的工序。
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公开(公告)号：CN110335800A
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201910183164.5
申请日：2019-03-12
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/20 , H01J37/305 , G01N1/28 , G01N23/04
Abstract: 提供带电粒子束装置。自动反复进行摘出试样片而将其移设于试样片保持器的动作，其中，该试样片是通过离子束对试样的加工而形成的。带电粒子束装置具有计算机，该计算机实施如下控制：在不使将试样片固定在试样保持器上的针旋转的情况下，从带电粒子束照射光学系统对附着于针的沉积膜照射带电粒子束。
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公开(公告)号：CN110335800B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN201910183164.5
申请日：2019-03-12
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/20 , H01J37/305 , G01N1/28 , G01N23/04
Abstract: 提供带电粒子束装置。自动反复进行摘出试样片而将其移设于试样片保持器的动作，其中，该试样片是通过离子束对试样的加工而形成的。带电粒子束装置具有计算机，该计算机实施如下控制：在不使将试样片固定在试样保持器上的针旋转的情况下，从带电粒子束照射光学系统对附着于针的沉积膜照射带电粒子束。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109817502B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN201811363931.2
申请日：2018-11-16
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/02 , H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/22 , G06T3/60 , G06T5/00 , G06T5/50 , G06T7/00
Abstract: 提供带电粒子束装置，自动地重复进行摘出试样片并将其移设于试样片保持器的动作，该试样是通过基于离子束的试样的加工而形成的。带电粒子束装置具有计算机，该计算机对聚焦离子束照射光学系统进行控制，以使得在通过针保持试样片后，设定包含与试样的加工时的深度方向对应的试样片的厚度方向的底部在内的整形加工区域，对整形加工区域照射聚焦离子束而对试样片进行整形加工。
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公开(公告)号：CN108335962B
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN201810034728.4
申请日：2018-01-15
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/317 , G01N1/28 , H01J37/20
Abstract: 本发明提供带电粒子束装置，其自动地重复进行取出通过离子束对试样的加工而形成的试样片并移置到试样片支架上的动作。该带电粒子束装置从试样自动地制作出试样片，其具有：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样台，其载置并移动试样；试样片移置单元，其保持从试样分离和取出的试样片并进行输送；支架固定台，其对移置有试样片的试样片支架进行保持；以及计算机，其在由试样片移置单元对试样片进行保持之后发生异常的情况下，进行使试样片移置单元所保持的试样片灭失的控制。
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公开(公告)号：CN111562149B
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202010064575.5
申请日：2020-01-20
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01N1/28 , G01N1/32 , G01N23/2005 , H01J37/02 , H01J37/20 , H01J37/305
Abstract: 提供薄膜试样片制作方法和带电粒子束装置，能够抑制薄膜试样片的缺损。具有如下工序：从与试样(S)的表面的法线方向(z)交叉的第2方向照射会聚离子束(FIB2)而对试样(S)进行加工，从而制作出薄膜试样片(1)，并且制作出配置于试样(S)薄膜试样片(1)的厚度方向(x)的一侧并使薄膜试样片(1)连接于试样(S)的连结部(3)的工序；使试样(S)绕法线方向(z)旋转的工序；使对薄膜试样片(1)进行保持的探针连接于薄膜试样片(1)的工序；以及从与法线方向(z)交叉的第3方向向连结部(3)照射会聚离子束(FIB3)从而使薄膜试样片(1)从试样(S)分离出来的工序。
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公开(公告)号：CN108666190B
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN201810258355.9
申请日：2018-03-27
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供便携式信息终端、射束照射系统以及存储介质。本发明的便携式信息终端能够在期望的位置进行第一操作项目的操作。该便携式信息终端是与通过向试样照射带电粒子束来对试样进行处理的带电粒子束照射装置分体的便携式信息终端，其具有显示控制部，该显示控制部使显示部显示包含GUI(Graphical User Interface：图形用户界面)的图像，该GUI是能够根据来自用户的操作来操作第一操作项目，该第一操作项目是能够在带电粒子束照射装置中进行操作的多个操作项目中的1个以上的一部分操作项目。
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公开(公告)号：CN108335961A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201810034839.5
申请日：2018-01-15
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
CPC classification number: H01J37/20 , G01N1/286 , G01N2001/2873 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/3056 , H01J2237/208 , H01J2237/221 , H01J2237/28 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749 , H01J37/3007
Abstract: 本发明提供带电粒子束装置，其自动地重复进行取出通过离子束对试样的加工而形成的试样片并移置到试样片支架上的动作。该带电粒子束装置从试样自动地制作出试样片，其具有：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样台，其载置并移动试样；试样片移置单元，其保持从试样分离和取出的试样片并进行输送；支架固定台，其对移置有试样片的试样片支架进行保持；导通传感器，其检测试样片移置单元与对象物之间的导通；以及计算机，其在将试样片移置单元和试样片连接起来时导通传感器未检测到试样片移置单元与试样片之间的导通的情况下，设定时间管理模式。
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