公开(公告)号：CN102954972B

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201210274401.7

申请日：2012-08-03

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 的场吉毅 ,  中谷林太郎 ,  佐藤恒郎

IPC: G01N23/04 ,  G01N23/223

CPC classification number: G01N23/06 ,  G01N23/223 ,  G01N2223/076

Abstract: 本发明提供一种能够使用荧光X射线正确且迅速地进行由透射X射线装置检测出的异物的位置的元素分析的X射线分析装置。该X射线分析装置（1）具备：透射X射线检查部（10），其具有第一X射线源（12）和检测从第一X射线源透射试料（100）的透射X射线（12x）的透射X射线检测器（14）；荧光X射线检查部（20），其具有第二X射线源（22）和检测当来自第二X射线源的X射线照射试料后该试料放出的X射线（22y）的荧光X射线检测器（24）；试料台（50），其保持试料；移动机构（30），其将试料台在第一X射线源的照射位置（12R）和第二X射线源的照射位置（22R）之间相对移动；异物位置运算装置（60），其运算透射X射线检测器在试料中检测出的异物（101）的位置；移动机构控制装置（61），其控制移动机构以使由异物位置运算装置运算的异物的位置和第二X射线源的光轴（22c）一致。

公开(公告)号：CN107796326B

公开(公告)日：2021-03-12

申请号：CN201710717616.4

申请日：2017-08-21

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 小野田有吾 ,  佐藤荣广 ,  长谷川晶一 ,  柳川香织 ,  石桥清隆 ,  加藤辉雄 ,  中谷林太郎

IPC: G01B11/24 ,  G01B9/02

Abstract: 本发明提供三维形状计测方法，其使用了扫描型白色干涉显微镜。在进行使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测时，对倾斜角度较大的计测对象物(试样)的表面也能够进行适当的计测。该三维形状计测方法如下：获取来自对计测对象物进行照射的光源的光的干涉信号的包络线，根据包络线的半值宽度获取作为所观测的表观上的相干长度的观测相干长度lc’，根据观测相干长度lc’对计测对象物的表面的倾斜角度进行计测。

公开(公告)号：CN107796326A

公开(公告)日：2018-03-13

申请号：CN201710717616.4

申请日：2017-08-21

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 小野田有吾 ,  佐藤荣广 ,  长谷川晶一 ,  柳川香织 ,  石桥清隆 ,  加藤辉雄 ,  中谷林太郎

IPC: G01B11/24 ,  G01B9/02

Abstract: 本发明提供三维形状计测方法，其使用了扫描型白色干涉显微镜。在进行使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测时，对倾斜角度较大的计测对象物(试样)的表面也能够进行适当的计测。该三维形状计测方法如下：获取来自对计测对象物进行照射的光源的光的干涉信号的包络线，根据包络线的半值宽度获取作为所观测的表观上的相干长度的观测相干长度lc’，根据观测相干长度lc’对计测对象物的表面的倾斜角度进行计测。