公开(公告)号：CN108137788B

公开(公告)日：2020-05-29

申请号：CN201680059844.0

申请日：2016-09-23

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 坂口崇洋 ,  菅原由纪 ,  安达勋

IPC: C08G59/14 ,  C08F290/14 ,  C08F299/04 ,  C08L67/06 ,  C09D7/40 ,  C09D163/10

Abstract: 本发明的课题是提供热固性树脂组合物、保护膜用热固性树脂组合物、平坦化膜用热固性树脂组合物、以及使用了该树脂组合物的固化膜、保护膜或平坦化膜的制作方法。作为解决手段是一种热固性树脂组合物，其含有：具有下述式(1)所示的结构单元的聚合物、相对于该聚合物为0～30质量％的固化剂、以及溶剂，在含有上述固化剂的情况下，该固化剂为选自多官能(甲基)丙烯酸酯化合物和多官能封闭异氰酸酯化合物中的至少1种化合物。(式中，A1表示碳原子数2或3的烯基或炔基，A2表示碳原子数2的亚烯基或亚炔基。)

公开(公告)号：CN105934693A

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201480074016.5

申请日：2014-12-26

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 安达勋 ,  坂口崇洋

IPC: G02B5/20 ,  C08F220/32 ,  G02B3/00 ,  G02B5/02

CPC classification number: C08F220/32 ,  G02B3/0018 ,  C08F2220/301 ,  C08F212/08 ,  C08F2220/281 ,  C08F2220/325

Abstract: 本发明的课题是提供热固化性的平坦化膜用或微透镜用树脂组合物。本发明的解决方法是一种平坦化膜用或微透镜用树脂组合物，其含有(A)成分、(B)成分和溶剂。(A)成分：具有下述式(1)所表示的结构单元、且进一步具有下述式(2)或式(3)所表示的结构单元的共聚物(B)成分：热产酸剂(式中，R0分别独立地表示氢原子或甲基，R1表示单键或碳原子数为1～5的亚烷基，该亚烷基中可以具有醚键，R2表示环氧基或具有环氧环的碳原子数为5～12的有机基团，R3表示碳原子数为1～3的亚烷基，n表示0～5的整数)。

公开(公告)号：CN104718229A

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201380054023.4

申请日：2013-10-04

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 坂口崇洋 ,  安达勲

IPC: C08F220/30 ,  C08F220/32 ,  C08G59/34 ,  C08L33/14 ,  G02B1/04 ,  G02B3/00 ,  G02B5/20

CPC classification number: G02B3/0018 ,  C08F220/20 ,  C08F220/30 ,  C08F220/32 ,  C08F220/58 ,  C08J5/18 ,  C08J2329/10 ,  C08J2333/10 ,  C08J2333/26 ,  C08J2429/10 ,  C08J2433/10 ,  C08J2433/26 ,  C08L33/14 ,  C08L63/00 ,  G02B1/04 ,  G02B1/105 ,  G02B1/12 ,  G02B1/14 ,  G02B3/0012 ,  G02B5/20 ,  C08L33/068 ,  C08F2220/325

Abstract: 本发明的课题是提供热固性的非感光性树脂组合物。作为解决本发明课题的方法为一种非感光性树脂组合物，其含有：具有下述式(1)和式(2)所示的结构单元的自交联性共聚物、和溶剂。(式中，R0各自独立地表示氢原子或甲基，X表示-O-基或-NH-基，R1表示单键或碳原子数1～6的亚烷基，R2表示碳原子数1～6的烷基，a表示1～5的整数，b表示0～4的整数，且a和b满足1≤a+b≤5，在b表示2、3或4的情况下，R2可以彼此不同，R3表示下述式(I)、式(II)或式(III)所示的2价有机基团，R4表示具有环氧基的有机基团。)(式中，c表示0～3的整数，d表示1～3的整数，e各自独立地表示2～6的整数。)。

公开(公告)号：CN104204947A

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201380017141.8

申请日：2013-03-15

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 安达勲 ,  坂口崇洋 ,  庄田浩之

IPC: G03F7/023 ,  C08F220/10 ,  C08F222/40 ,  G02B3/00 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/038 ,  C08F220/32 ,  C08F220/36 ,  C08F222/40 ,  G02B1/04 ,  G02B1/041 ,  G02B3/0012 ,  G03F7/0005 ,  G03F7/0233

Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物。一种含有(A)成分、(B)成分以及溶剂的感光性树脂组合物。(A)成分：具有下述式(1)表示的结构单元以及下述式(2)表示的结构单元的共聚物，(B)成分：感光剂，式中，R0表示羟基或羧基，R1表示氢原子或甲基，R2表示单键或碳原子数1至5的亚烷基，R3表示具有热交联性的1价的有机基团。其中，多个上述式(2)表示的结构单元中R1彼此也可以相互不同。

公开(公告)号：CN103229101A

公开(公告)日：2013-07-31

申请号：CN201180056901.7

申请日：2011-11-21

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 庄田浩之 ,  坂口崇洋 ,  岸冈高广

IPC: G03F7/023 ,  G02B1/04 ,  G02B3/00

CPC classification number: G02B1/041 ,  G03F7/0005 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/40 ,  C08L35/00

Abstract: 本发明的课题是提供微透镜用感光性树脂组合物。作为解决本发明课题的方法是含有(A)成分、(B)成分和溶剂的微透镜用感光性树脂组合物。(A)成分：具有下述式(1)所示的马来酰亚胺结构单元和下述式(2)所示的重复结构单元的共聚物，(B)成分：感光剂，(上述式(2)中，R0表示氢原子或甲基，R1表示单键或碳原子数1～5的亚烷基，R2表示具有热交联性的1价有机基团。其中，上述式(2)所示的重复结构单元中R0彼此可以互不相同。)。

公开(公告)号：CN103163736A

公开(公告)日：2013-06-19

申请号：CN201310081190.X

申请日：2005-08-23

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 畑中真 ,  坂口崇洋 ,  榎本智之 ,  木村茂雄

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/09 ,  G03F7/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/091

Abstract: 本发明的目的在于提供形成下层防反射膜的组合物，该组合物用于形成在制造半导体器件的光刻工艺中使用的下层防反射膜，所述下层防反射膜在光致抗蚀剂的显影中使用的碱性显影液的作用下能够显影，并提供使用该形成下层防反射膜的组合物的光致抗蚀剂图案的形成方法。本发明的形成下层防反射膜的组合物含有，聚酰胺酸、具有至少两个环氧基的化合物、对波长为365nm的光的摩尔吸光系数为5000～100000（1/mol·cm）的吸光性化合物、和溶剂。

公开(公告)号：CN101669069B

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN200880013847.6

申请日：2008-05-14

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 根木隆之 ,  坂口崇洋 ,  岸冈高广

IPC: G03F7/023 ,  G02B3/00 ,  G03F7/004

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G02B3/00 ,  G03F7/0005 ,  G03F7/38

Abstract: 本发明的课题是提供具有耐热性、高分辨率、高出光效率的微透镜用材料。作为本发明的解决问题的方法是，提供一种正型抗蚀剂组合物，含有碱溶性聚合物(A)和化合物(B)，所述碱溶性聚合物(A)含有具有芳香族稠环或其衍生物的结构单元，所述化合物(B)具有可进行光分解而产生碱溶性基团的有机基团。该正型抗蚀剂组合物具有在波长633nm下折射率为1.6以上、在波长400～730nm下透射率为80％以上的涂膜物性。本发明还提供微透镜的制造方法，该制造方法包括将正型抗蚀剂组合物涂布在基板上，并进行干燥、曝光，然后进行显影的工序。

公开(公告)号：CN102713687A

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：CN201180005701.9

申请日：2011-01-20

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 荒濑慎哉 ,  坂口崇洋

IPC: G02B3/00 ,  H01L27/14

CPC classification number: G02B3/0012 ,  G02B3/0056 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/14685

Abstract: 本发明的目的是提供实效灵敏度高的固体摄像元件和其制造方法，其使微透镜形成时的相邻透镜间间隙消除、透镜间重合结构的形成优异、此外透镜的曲率控制性优异、微透镜形成稳定性提高。提供了一种固体摄像元件的制造方法，所述固体摄像元件是将微透镜以彼此相邻的方式配置在基板上而成的，所述制造方法包含以下第1工序和第2工序，第1工序:在基板表面上隔着将要设置第2微透镜的空间形成第1微透镜，第2工序:在形成有该第1微透镜的基板表面上涂布外覆材料，接着进行干燥，将其使用灰度掩模进行曝光，接着将曝光后的外覆材料显影，从而在第1微透镜和其相邻的第1微透镜之间的空间形成第2微透镜。

公开(公告)号：CN102472833A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201080036243.0

申请日：2010-06-21

Applicant: 日产化学工业株式会社

Inventor： 岸冈高广 ,  坂口崇洋

IPC: G02B1/04 ,  C08F22/40 ,  C08L35/00 ,  G02B3/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023

CPC classification number: C08F26/06 ,  G02B1/043 ,  G03F7/0005 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/40 ,  C08L33/24

Abstract: 本发明的课题为提供一种微透镜用感光性树脂组合物。作为解决本发明课题的方法为含有(A)成分、(B)成分和(C)成分的微透镜用感光性树脂组合物，(A)成分：具有下述式(1)所示的马来酰亚胺结构单元的聚合物；(B)成分：交联剂；(C)成分：感光剂。

公开(公告)号：CN101021684B

公开(公告)日：2012-02-22

申请号：CN200710005538.1

申请日：2007-02-12

Applicant: 豪雅株式会社 ,  日产化学工业株式会社

Inventor： 桥本雅广 ,  榎本智之 ,  坂口崇洋 ,  坂本力丸 ,  永井雅规

IPC: G03F7/11 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/11 ,  G03F1/38 ,  G03F1/80

Abstract: 本发明的课题在于提供在掩模坯板和掩模的制作工艺中使用的形成抗蚀剂下层的膜的组合物，并且提供使用该组合物制作的掩模坯板和掩模。本发明通过提供下述组合物解决了上述课题，即，一种形成抗蚀剂下层的膜的组合物，是在基板上按照形成转印图案的薄膜和化学放大型抗蚀剂膜的顺序形成这些膜而成的掩模坯板中，为了在该形成转印图案的薄膜和该抗蚀剂膜之间形成抗蚀剂下层的膜而使用的，含有具有含卤原子的重复单元结构的高分子化合物和溶剂的形成抗蚀剂下层的膜的组合物。上述高分子化合物含有至少10质量％的卤原子。