片材、胶带及半导体装置的制造方法

    公开(公告)号:CN107393857B

    公开(公告)日:2023-05-09

    申请号:CN201710325250.6

    申请日:2017-05-10

    Abstract: 本发明提供片材、胶带及半导体装置的制造方法。本发明的一个方式提供能够减少切割时芯片侧面产生的龟裂的片材和胶带。本发明的一个方式涉及片材。片材包含切割薄膜。切割薄膜包含基材层及位于基材层上的粘合剂层。片材进一步包含位于粘合剂层上的半导体背面保护薄膜。半导体背面保护薄膜具有1.7kgf/mm2以上的对硅芯片的25℃剪切粘接力。

    光固化性树脂片
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114609862A

    公开(公告)日:2022-06-10

    申请号:CN202111499877.6

    申请日:2021-12-09

    Abstract: 本发明涉及光固化性树脂片。本发明提供一种可操作性、光固化性和透明性优异的光固化性树脂片。一种光固化性树脂片,其中,所述光固化性树脂片包含(A)高分子化合物和(B)低分子化合物,并且环氧基、氧杂环丁烷基和光聚合引发基团各自独立地存在于高分子化合物(A)或低分子化合物(B)中。

    切割带一体型粘接性片
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109148350A

    公开(公告)日:2019-01-04

    申请号:CN201810680930.4

    申请日:2018-06-27

    Abstract: 本发明提供一种切割带一体型粘接性片,其适于在为了通过半导体晶圆的单片化得到带有粘接性薄膜的半导体芯片而使用切割带一体型粘接性片进行的割断用扩展工序中实现粘接性片的良好割断。本发明的切割带一体型粘接性片(X)具备切割带(20)和粘接性片。切割带(20)具有包含基材(21)和粘合剂层(22)的层叠结构。粘接性片以能剥离的方式与切割带(20)的粘合剂层(22)密合。粘接性片例如为半导体芯片背面保护用的薄膜(10)。粘接性片的、对宽度2mm的粘接性片试验片在初始卡盘间距16mm、‑15℃和载荷增加速度1.2N/分钟的条件下进行的拉伸试验中的断裂强度为1.2N以下、且断裂伸长率为1.2%以下。

    切割带一体型粘接性片
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109111871A

    公开(公告)日:2019-01-01

    申请号:CN201810642684.3

    申请日:2018-06-21

    Abstract: 本发明提供一种切割带一体型粘接性片,其具备在表面伴有辐射线固化性粘合剂层(22)的切割带(20)和作为粘接性片的薄膜(10)。薄膜(10)具有激光标记层(11)和粘接剂层(12)。薄膜(10)的粘接剂层(12)侧表面相对于Si晶圆在23℃、剥离角度180°和拉伸速度300mm/分钟的条件下的剥离试验中显示5N/10mm以上的剥离粘合力。固化后的粘合剂层(22)与薄膜(10)之间的前述条件的剥离试验中的第1剥离粘合力为0.15N/20mm以下。在50℃下保管9天后经固化的粘合剂层(22)与薄膜(10)之间的前述条件的剥离试验中的第2剥离粘合力与第1剥离粘合力之差为0.12N/20mm以下。

    层叠体和联合体、组合的回收方法和半导体装置的制造方法

    公开(公告)号:CN107011816A

    公开(公告)日:2017-08-04

    申请号:CN201610972626.8

    申请日:2016-11-03

    Abstract: 本发明涉及层叠体和联合体、组合的回收方法和半导体装置的制造方法。本发明提供可以防止切割后半导体背面保护薄膜彼此密合的层叠体等。本发明涉及层叠体,所述层叠体包括双面粘合片和配置在双面粘合片上的半导体背面保护薄膜。双面粘合片包含第一粘合剂层、第二粘合剂层和基材层。基材层位于第一粘合剂层和第二粘合剂层之间。第一粘合剂层具有通过加热而剥离力降低的性质。第一粘合剂层位于半导体背面保护薄膜和基材层之间。

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