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公开(公告)号：CN101560901B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200910130130.6
申请日：2009-03-25
Applicant: 揖斐电株式会社
CPC classification number: F01N3/0211 , F01N3/0222 , F01N3/035 , F01N3/2853 , F01N3/2864 , F01N2310/02 , F01N2310/04 , Y02T10/20 , Y10T156/1043 , Y10T428/2495 , Y10T428/26 , Y10T428/31663
Abstract: 本发明涉及保持密封材料和废气净化装置。本发明提供能够发挥高耐风蚀性并且保持特性高、成本低的保持密封材料。本发明的保持密封材料为垫状保持密封材料，其特征在于，上述保持密封材料是通过使主要包含氧化铝的第一无机纤维和主要包含二氧化硅的第二无机纤维混合存在而形成的。
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公开(公告)号：CN1460094A
公开(公告)日：2003-12-03
申请号：CN02801092.2
申请日：2002-04-12
Applicant: 揖斐电株式会社
CPC classification number: C04B35/645 , B32B18/00 , B32B2309/022 , B32B2315/02 , C04B35/01 , C04B35/56 , C04B35/5626 , C04B35/58 , C04B35/581 , C04B35/6264 , C04B35/63424 , C04B35/638 , C04B37/005 , C04B2235/3224 , C04B2235/3225 , C04B2235/6025 , C04B2235/721 , C04B2235/80 , C04B2235/96 , C04B2237/066 , C04B2237/36 , C04B2237/368 , C04B2237/60 , C04B2237/62 , H01L21/6833 , H05B3/141 , Y10T428/252
Abstract: 本发明涉及陶瓷接合体和它的制造方法，以及半导体晶片用陶瓷结构体的发明，特别涉及电热板(陶瓷加热器)和静电夹头、晶片检测器等用于半导体制造装置和检测装置的陶瓷接合体材料，其基本特征是：所述陶瓷接合体是接合了2个或2个以上同种或不同种类的陶瓷体而获得的接合体，一方面在各陶瓷体的接合界面上，存在有以所述界面为中心晶粒长入到两侧陶瓷体中的陶瓷晶粒，另一方面所述接合界面没有烧结助剂浓缩层。
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公开(公告)号：CN101560901A
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200910130130.6
申请日：2009-03-25
Applicant: 揖斐电株式会社
CPC classification number: F01N3/0211 , F01N3/0222 , F01N3/035 , F01N3/2853 , F01N3/2864 , F01N2310/02 , F01N2310/04 , Y02T10/20 , Y10T156/1043 , Y10T428/2495 , Y10T428/26 , Y10T428/31663
Abstract: 本发明涉及保持密封材料和废气净化装置。本发明提供能够发挥高耐风蚀性并且保持特性高、成本低的保持密封材料。本发明的保持密封材料为垫状保持密封材料，其特征在于，上述保持密封材料是通过使主要包含氧化铝的第一无机纤维和主要包含二氧化硅的第二无机纤维混合存在而形成的。
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公开(公告)号：CN102472141A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080029029.2
申请日：2010-06-30
Applicant: 揖斐电株式会社
CPC classification number: C03C13/06 , C03C3/087 , F01N3/2853 , Y10T442/608 , Y10T442/623 , Y10T442/696
Abstract: 本发明提供一种垫材，其为含有玻璃纤维的垫材，所述玻璃纤维以重量比计含有52～62wt％的SiO2、9～17wt％的Al2O3、17～27wt％的CaO、0～9wt％的MgO、0～4wt％的TiO2、及0～5wt％的ZnO，实质上不含有B2O3，Na2O和K2O的总和在0～2wt％的范围，在将所述垫材设置在上部板与下部板之间，GBD＝0.35g/cm3的条件下，将所述上部板以15℃/分的升温速度升温的同时，将所述下部板以8.6℃/分的升温速度升温，在所述上部板及所述下部板的温度分别达到700℃及400℃时测得的最大面压力为100kPa以上。
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公开(公告)号：CN101131114B
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN200710126890.0
申请日：2007-06-29
Applicant: 揖斐电株式会社
Inventor： 杉野顺一
CPC classification number: F01N3/0211 , F01N3/2853 , F01N3/2864 , F01N2350/06 , Y02T10/20
Abstract: 本发明提供了一种保持密封件及排气处理装置。本发明的目的是提供一种能够抑制未处理的排气泄漏的保持密封件，并且还提供一种使用这样的保持密封件的排气处理装置。提供了一种保持密封件，该保持密封件包括含有无机纤维的垫基件和设置在该垫基件的表面上的保护片，其中所述保持密封件实质上形成为矩形形状，其中所述保持密封件以长边方向作为卷绕方向来使用，使所述保持密封件卷绕在排气处理体的外周面的至少一部分上，使得所述保护片面向外侧，所述保护片在该保护片的表面内具有延伸各向异性，并且所述保护片在所述垫基件的表面上被放置成：使得表现该保护片的最大延伸的方向相对于所述保持密封件的长边方向以非零角度布置。
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公开(公告)号：CN101131114A
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200710126890.0
申请日：2007-06-29
Applicant: 揖斐电株式会社
Inventor： 杉野顺一
CPC classification number: F01N3/0211 , F01N3/2853 , F01N3/2864 , F01N2350/06 , Y02T10/20
Abstract: 本发明提供了一种保持密封件及排气处理装置。本发明的目的是提供一种能够抑制未处理的排气泄漏的保持密封件，并且还提供一种使用这样的保持密封件的排气处理装置。提供了一种保持密封件，该保持密封件包括含有无机纤维的垫基件和设置在该垫基件的表面上的保护片，其中所述保持密封件实质上形成为矩形形状，其中所述保护片在该保护片的表面内具有延伸各向异性，并且所述保护片在所述垫基件的表面上被放置成：使得表现该保护片的最大延伸的方向相对于所述保持密封件的长边方向以非零角度布置。
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