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公开(公告)号：CN115574886A
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202211402744.7
申请日：2022-11-09
Applicant: 拓荆科技股份有限公司
IPC: G01F22/02
Abstract: 本发明提供了一种液体前驱体源瓶储量侦测方法，所述方法包括：对已知储量的所述源瓶进行抽空和回复状态测试；记录进入回复状态的时间段t1以及此时对应的压力检测计读数p1；根据t1和p1的值计算得到所述源瓶内的液体前驱体在当前温度以及当前压力下的扩散系数D，并进而计算得到绝对温度和绝对压力下的扩散系数D0；对于未知储量的所述源瓶进行抽空和回复状态测试；记录进入回复状态的时间段t2以及此时对应的压力检测计读数p2；根据绝对温度和绝对压力下的扩散系数D0，计算出当前温度和当前压力下的扩散系数D；根据当前温度和当前压力下的扩散系数D以及t2和p2的值，计算得到所述液体前驱体表面至压力检测计的距离。
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