具有频率调节和对正交误差的静电消除的MEMS陀螺仪

    公开(公告)号:CN108663037B

    公开(公告)日:2022-09-13

    申请号:CN201710198481.5

    申请日:2017-03-29

    Abstract: 本公开涉及具有频率调节和对正交误差的静电消除的MEMS陀螺仪。具体为一种MEMS陀螺仪(60,100),其中,悬挂质量块(111‑114)相对于支撑结构(125,127)可移动。该可移动质量块受正交力矩引起的正交误差的影响;驱动结构(77)耦合至该悬挂质量块以便以驱动频率控制该可移动质量块在驱动方向上的移动。耦合至该可移动质量块的运动感测电极(130)检测该可移动质量块在感测方向上的移动,并且正交补偿电极(121‑124)耦合至该可移动质量块以便生成与该正交力矩相反的补偿力矩。该陀螺仪被配置成用于使用补偿电压来对这些正交补偿电极进行偏置,从而使得该可移动质量块的谐振频率与该驱动频率之差具有预设频率失配值。

    电荷放大电路和方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115514333A

    公开(公告)日:2022-12-23

    申请号:CN202210711583.3

    申请日:2022-06-22

    Abstract: 本公开的实施例涉及电荷放大电路和方法。一种电路包括放大器、偏置电压节点和第一组开关,该第一组开关被配置成:基于具有第一值的第一复位信号,将第一和第二输入节点耦联到偏置电压节点,并且耦联放大器的第一和第二输出节点。第一和第二反馈支路各自包括相应的RC网络,该RC网络包括多个电容。第一和第二反馈支路还包括在输入节点和电容中间的第二组开关以及在输入节点和多个电容中间的第三组开关。这些开关基于具有第一值的第二复位信号选择性地将电容耦联到输入节点和输出节点。第二复位信号在超过时间间隔(在该时间间隔中,第一复位信号具有第一值)的确定的时间间隔内保持第一值。

    具有频率调节和对正交误差的静电消除的MEMS陀螺仪

    公开(公告)号:CN108663037A

    公开(公告)日:2018-10-16

    申请号:CN201710198481.5

    申请日:2017-03-29

    CPC classification number: G01C19/5712 G01C19/574 G01C19/5776

    Abstract: 本公开涉及具有频率调节和对正交误差的静电消除的MEMS陀螺仪。具体为一种MEMS陀螺仪(60,100),其中,悬挂质量块(111-114)相对于支撑结构(125,127)可移动。该可移动质量块受正交力矩引起的正交误差的影响;驱动结构(77)耦合至该悬挂质量块以便以驱动频率控制该可移动质量块在驱动方向上的移动。耦合至该可移动质量块的运动感测电极(130)检测该可移动质量块在感测方向上的移动,并且正交补偿电极(121-124)耦合至该可移动质量块以便生成与该正交力矩相反的补偿力矩。该陀螺仪被配置成用于使用补偿电压来对这些正交补偿电极进行偏置,从而使得该可移动质量块的谐振频率与该驱动频率之差具有预设频率失配值。

    用于检测电子装置的操作环境的变化的设备和方法

    公开(公告)号:CN114791301B

    公开(公告)日:2025-03-14

    申请号:CN202210024686.2

    申请日:2022-01-07

    Abstract: 本公开涉及用于检测电子装置的操作环境的变化的设备和方法。本发明提供了一种检测设备,包括压力传感器,该压力传感器提供压力信号,该压力信号指示操作环境中的周围压力。静电电荷变化传感器提供电荷变化信号,该电荷变化信号指示与所述操作环境相关联的静电电荷的变化,以及处理电路装置,其被耦合到该压力传感器和该静电电荷变化传感器,以便接收该压力信号和该电荷变化信号,并且联合处理该压力信号和该电荷变化信号,以检测该检测设备的第一操作环境和第二操作环境之间的变化。该第二操作环境与该第一操作环境不同。

    用于检测电子装置的操作环境的变化的设备和方法

    公开(公告)号:CN114791301A

    公开(公告)日:2022-07-26

    申请号:CN202210024686.2

    申请日:2022-01-07

    Abstract: 本公开涉及用于检测电子装置的操作环境的变化的设备和方法。本发明提供了一种检测设备,包括压力传感器,该压力传感器提供压力信号,该压力信号指示操作环境中的周围压力。静电电荷变化传感器提供电荷变化信号,该电荷变化信号指示与所述操作环境相关联的静电电荷的变化,以及处理电路装置,其被耦合到该压力传感器和该静电电荷变化传感器,以便接收该压力信号和该电荷变化信号,并且联合处理该压力信号和该电荷变化信号,以检测该检测设备的第一操作环境和第二操作环境之间的变化。该第二操作环境与该第一操作环境不同。

    MEMS陀螺仪及其电子系统
    6.
    实用新型

    公开(公告)号:CN206772316U

    公开(公告)日:2017-12-19

    申请号:CN201720318605.4

    申请日:2017-03-29

    Abstract: 本公开MEMS陀螺仪及其电子系统。具体为一种MEMS陀螺仪(60,100),其中,悬挂质量块(111-114)相对于支撑结构(125,127)可移动。该可移动质量块受正交力矩引起的正交误差的影响;驱动结构(77)耦合至该悬挂质量块以便以驱动频率控制该可移动质量块在驱动方向上的移动。耦合至该可移动质量块的运动感测电极(130)检测该可移动质量块在感测方向上的移动,并且正交补偿电极(121-124)耦合至该可移动质量块以便生成与该正交力矩相反的补偿力矩。该陀螺仪被配置成用于使用补偿电压来对这些正交补偿电极进行偏置,从而使得该可移动质量块的谐振频率与该驱动频率之差具有预设频率失配值。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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