公开(公告)号：CN108663037A

公开(公告)日：2018-10-16

申请号：CN201710198481.5

申请日：2017-03-29

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： D·普拉蒂 ,  C·瓦尔扎希纳 ,  T·基亚里洛 ,  P·佛朗哥

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5712 ,  G01C19/574 ,  G01C19/5776

Abstract: 本公开涉及具有频率调节和对正交误差的静电消除的MEMS陀螺仪。具体为一种MEMS陀螺仪(60，100)，其中，悬挂质量块(111-114)相对于支撑结构(125，127)可移动。该可移动质量块受正交力矩引起的正交误差的影响；驱动结构(77)耦合至该悬挂质量块以便以驱动频率控制该可移动质量块在驱动方向上的移动。耦合至该可移动质量块的运动感测电极(130)检测该可移动质量块在感测方向上的移动，并且正交补偿电极(121-124)耦合至该可移动质量块以便生成与该正交力矩相反的补偿力矩。该陀螺仪被配置成用于使用补偿电压来对这些正交补偿电极进行偏置，从而使得该可移动质量块的谐振频率与该驱动频率之差具有预设频率失配值。

公开(公告)号：CN108663037B

公开(公告)日：2022-09-13

申请号：CN201710198481.5

申请日：2017-03-29

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： D·普拉蒂 ,  C·瓦尔扎希纳 ,  T·基亚里洛 ,  P·佛朗哥

IPC: G01C19/56

Abstract: 本公开涉及具有频率调节和对正交误差的静电消除的MEMS陀螺仪。具体为一种MEMS陀螺仪(60，100)，其中，悬挂质量块(111‑114)相对于支撑结构(125，127)可移动。该可移动质量块受正交力矩引起的正交误差的影响；驱动结构(77)耦合至该悬挂质量块以便以驱动频率控制该可移动质量块在驱动方向上的移动。耦合至该可移动质量块的运动感测电极(130)检测该可移动质量块在感测方向上的移动，并且正交补偿电极(121‑124)耦合至该可移动质量块以便生成与该正交力矩相反的补偿力矩。该陀螺仪被配置成用于使用补偿电压来对这些正交补偿电极进行偏置，从而使得该可移动质量块的谐振频率与该驱动频率之差具有预设频率失配值。

公开(公告)号：CN206772316U

公开(公告)日：2017-12-19

申请号：CN201720318605.4

申请日：2017-03-29

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： D·普拉蒂 ,  C·瓦尔扎希纳 ,  T·基亚里洛 ,  P·佛朗哥

IPC: G01C25/00

Abstract: 本公开MEMS陀螺仪及其电子系统。具体为一种MEMS陀螺仪(60，100)，其中，悬挂质量块(111-114)相对于支撑结构(125，127)可移动。该可移动质量块受正交力矩引起的正交误差的影响；驱动结构(77)耦合至该悬挂质量块以便以驱动频率控制该可移动质量块在驱动方向上的移动。耦合至该可移动质量块的运动感测电极(130)检测该可移动质量块在感测方向上的移动，并且正交补偿电极(121-124)耦合至该可移动质量块以便生成与该正交力矩相反的补偿力矩。该陀螺仪被配置成用于使用补偿电压来对这些正交补偿电极进行偏置，从而使得该可移动质量块的谐振频率与该驱动频率之差具有预设频率失配值。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利