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公开(公告)号：CN118588520A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202411073108.3
申请日：2024-08-06
申请人： 北京惠然肯来科技中心(有限合伙) , 惠然科技有限公司
IPC分类号： H01J37/141 , H01J37/26
摘要： 本申请公开了一种用于粒子束控制装置的磁物镜结构及粒子束控制装置。该磁物镜结构包括：物镜磁体；物镜内极靴，其装配面上设有多个沿圆周均匀分布的第一固定孔，通过第一固定部件与第一固定孔的相互配合固定在物镜磁体上，第一固定部件为可拆卸式固定部件，圆周的圆心与物镜内极靴的轴线重合；以及物镜外极靴，其装配面上设有多个沿同一圆周均匀分布的第二固定孔，通过第二固定部件与第二固定孔的相互配合固定在物镜磁体上并与物镜内极靴同轴，第二固定部件为可拆卸式固定部件。通过本申请实施例的方案，能够将物镜内极靴和物镜外极靴独立安装在物镜磁体上。在对中过程中，紧固操作所导致的回弹力和摩擦力不会经由物镜磁体作用到物镜内/外极靴，从而消除了橡胶圈对物镜内/外极靴的对中过程和装配过程的影响，有效地提高了对中精度和效率。
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公开(公告)号：CN118588519A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202411073110.0
申请日：2024-08-06
申请人： 北京惠然肯来科技中心(有限合伙) , 惠然科技有限公司
摘要： 本申请公开了一种用于双束电镜的物镜结构及双束电镜。该物镜结构包括：物镜第一电极，其包括第一装配面和第一静电面；物镜第二电极，其包括第二装配面和第二静电面；物镜第三电极，其包括第三装配面和第三静电面；以及空心柱体，其轴线与物镜结构的轴线重合；其中，第一装配面、第二装配面和第三装配面沿物镜结构轴线的方向依次布置，第三装配面平行于第一装配面，且第三装配面与第一装配面装配在一起，从而使得物镜第一电极和物镜第三电极均处于地电位；第二装配面与第一装配面平行。本申请实施例能为物镜第一电极和物镜第二电极提供足够的爬电距离，使得整个物镜结构能够承受至少20kV的压差，从而降低双束电镜中离子束单元的击穿风险。
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公开(公告)号：CN118588522A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202411073109.8
申请日：2024-08-06
申请人： 北京惠然肯来科技中心(有限合伙) , 惠然科技有限公司
摘要： 本申请公开了一种用于带电粒子束装置的载物单元及相关产品。该载物单元包括：载物平板，其通过固定支架安装在带电粒子束装置的电子束输出端，且载物平板上具有与电子束同轴的纵向开口，所述纵向开口的开口尺寸大于所述电子束输出端的开口尺寸；以及钉台，其嵌入在载物平板的纵向开口内，用于放置检测物品，使电子束作用在检测物品上。通过本申请实施例提供的方案，能够将载物平板及钉台一同固定在带电粒子束装置上，使得载物单元与带电粒子束装置形成一个整体，即使在震动的情况下，带电粒子束装置中的带电粒子束与样品的相对位置也不会产生变化，从而排除环境和装置震动对检测结果的负面影响，提高了带电粒子束装置性能检测的稳定性。
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公开(公告)号：CN118588519B
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411073110.0
申请日：2024-08-06
申请人： 北京惠然肯来科技中心(有限合伙) , 惠然科技有限公司
摘要： 本申请公开了一种用于双束电镜的物镜结构及双束电镜。该物镜结构包括：物镜第一电极，其包括第一装配面和第一静电面；物镜第二电极，其包括第二装配面和第二静电面；物镜第三电极，其包括第三装配面和第三静电面；以及空心柱体，其轴线与物镜结构的轴线重合；其中，第一装配面、第二装配面和第三装配面沿物镜结构轴线的方向依次布置，第三装配面平行于第一装配面，且第三装配面与第一装配面装配在一起，从而使得物镜第一电极和物镜第三电极均处于地电位；第二装配面与第一装配面平行。本申请实施例能为物镜第一电极和物镜第二电极提供足够的爬电距离，使得整个物镜结构能够承受至少20kV的压差，从而降低双束电镜中离子束单元的击穿风险。
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公开(公告)号：CN118584529A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202411073112.X
申请日：2024-08-06
申请人： 北京惠然肯来科技中心(有限合伙) , 惠然科技有限公司
摘要： 本申请公开了一种基于法拉第杯测量电子束的方法及相关产品。所述方法包括：获取所述扫描电子显微镜扫描所述法拉第杯的杯盖表面所产生的电流曲线图，其中所述电流曲线图在所述扫描电子显微镜扫描经过所述环形入射孔时存在阶跃峰；根据所述阶跃峰的峰值确定所述扫描电子显微镜发射的电子束的强度信息；获取所述电流曲线图中的阶跃峰间距和所述环形入射孔的尺寸大小；以及基于所述阶跃峰间距和所述尺寸大小确定所述电子束的定位信息，其中所述电子束的定位信息可实现电子束对中。利用本申请的方案，可以在实现电子束强度测量的同时实现电子束的位置定位，从而实现自动电子束对中，极大地提升电子束的测量效率和测量精度。
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公开(公告)号：CN118067017A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202311735074.5
申请日：2023-12-15
申请人： 惠然科技有限公司
摘要： 本申请公开了一种用于检测半导体高度的方法、高度检测系统及相关产品。该方法应用于高度检测系统，具体包括：利用偏振分束镜对激光光束发射单元输出的检测光束进行分束，以形成不同偏振方向的偏振光束；分别沿着参考光路和样本光路传播并反射不同偏振方向的偏振光束，使其在偏振分束镜处合束成叠加光信号；利用第一光调制器将叠加光信号调制成调制光信号；利用光电探测器将调制光信号转换成携带相位差的电信号；利用锁相放大器解析电信号，以获得参考反射光束与样本反射光束的相位差；以及根据相位差计算半导体的高度信息。通过本申请实施例的方案，能够通过更易实现的系统设计，快速、准确地完成半导体高度信息的检测。
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公开(公告)号：CN117728281A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202311737297.5
申请日：2023-12-15
申请人： 惠然科技有限公司
摘要： 本申请公开了一种激光诱发充电控制装置、方法及带电粒子束检测系统。该激光诱发充电控制装置包括：激光发射单元，其包括至少两组激光发射组件，用于产生不同波段的激光光束，其中每组激光发射组件包括激光发射器和离轴抛物面镜，激光发射器发出的激光光束经离轴抛物面镜进行准直并反射；激光耦合单元，用于接收每组激光发射组件中离轴抛物面镜所反射的激光光束，并将其耦合至同一光路；以及激光调控单元，用于接收光路上的耦合激光光束，并对耦合激光光束依次进行偏转、整形和聚焦反射，使其照射至待测半导体的表面。通过本申请实施例的方案，能够实现多波长耦合的激光光源，以适配更多种晶圆检测场景。
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公开(公告)号：CN118588522B
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411073109.8
申请日：2024-08-06
申请人： 北京惠然肯来科技中心(有限合伙) , 惠然科技有限公司
摘要： 本申请公开了一种用于带电粒子束装置的载物单元及相关产品。该载物单元包括：载物平板，其通过固定支架安装在带电粒子束装置的电子束输出端，且载物平板上具有与电子束同轴的纵向开口，所述纵向开口的开口尺寸大于所述电子束输出端的开口尺寸；以及钉台，其嵌入在载物平板的纵向开口内，用于放置检测物品，使电子束作用在检测物品上。通过本申请实施例提供的方案，能够将载物平板及钉台一同固定在带电粒子束装置上，使得载物单元与带电粒子束装置形成一个整体，即使在震动的情况下，带电粒子束装置中的带电粒子束与样品的相对位置也不会产生变化，从而排除环境和装置震动对检测结果的负面影响，提高了带电粒子束装置性能检测的稳定性。
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公开(公告)号：CN118588520B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202411073108.3
申请日：2024-08-06
申请人： 北京惠然肯来科技中心(有限合伙) , 惠然科技有限公司
IPC分类号： H01J37/141 , H01J37/26
摘要： 本申请公开了一种用于粒子束控制装置的磁物镜结构及粒子束控制装置。该磁物镜结构包括：物镜磁体；物镜内极靴，其装配面上设有多个沿圆周均匀分布的第一固定孔，通过第一固定部件与第一固定孔的相互配合固定在物镜磁体上，第一固定部件为可拆卸式固定部件，圆周的圆心与物镜内极靴的轴线重合；以及物镜外极靴，其装配面上设有多个沿同一圆周均匀分布的第二固定孔，通过第二固定部件与第二固定孔的相互配合固定在物镜磁体上并与物镜内极靴同轴，第二固定部件为可拆卸式固定部件。通过本申请实施例的方案，能够将物镜内极靴和物镜外极靴独立安装在物镜磁体上。在对中过程中，紧固操作所导致的回弹力和摩擦力不会经由物镜磁体作用到物镜内/外极靴，从而消除了橡胶圈对物镜内/外极靴的对中过程和装配过程的影响，有效地提高了对中精度和效率。
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公开(公告)号：CN118584529B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202411073112.X
申请日：2024-08-06
申请人： 北京惠然肯来科技中心(有限合伙) , 惠然科技有限公司
摘要： 本申请公开了一种基于法拉第杯测量电子束的方法及相关产品。所述方法包括：获取所述扫描电子显微镜扫描所述法拉第杯的杯盖表面所产生的电流曲线图，其中所述电流曲线图在所述扫描电子显微镜扫描经过所述环形入射孔时存在阶跃峰；根据所述阶跃峰的峰值确定所述扫描电子显微镜发射的电子束的强度信息；获取所述电流曲线图中的阶跃峰间距和所述环形入射孔的尺寸大小；以及基于所述阶跃峰间距和所述尺寸大小确定所述电子束的定位信息，其中所述电子束的定位信息可实现电子束对中。利用本申请的方案，可以在实现电子束强度测量的同时实现电子束的位置定位，从而实现自动电子束对中，极大地提升电子束的测量效率和测量精度。
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