发明授权
- 专利标题: 基于法拉第杯测量电子束的方法及相关产品
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申请号: CN202411073112.X申请日: 2024-08-06
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公开(公告)号: CN118584529B公开(公告)日: 2024-10-18
- 发明人: 李山磊 , 杨思源 , 王志斌
- 申请人: 北京惠然肯来科技中心(有限合伙) , 惠然科技有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区上地信息路1号(北京实创高科技发展总公司1-1号)A栋6层6232号;
- 专利权人: 北京惠然肯来科技中心(有限合伙),惠然科技有限公司
- 当前专利权人: 北京惠然肯来科技中心(有限合伙),惠然科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区上地信息路1号(北京实创高科技发展总公司1-1号)A栋6层6232号;
- 代理机构: 北京维昊知识产权代理事务所
- 代理商 孙新国
- 主分类号: G01T1/29
- IPC分类号: G01T1/29 ; H01J37/244 ; H01J37/28 ; G01T7/00 ; G01R19/00 ; G01R19/04
摘要:
本申请公开了一种基于法拉第杯测量电子束的方法及相关产品。所述方法包括:获取所述扫描电子显微镜扫描所述法拉第杯的杯盖表面所产生的电流曲线图,其中所述电流曲线图在所述扫描电子显微镜扫描经过所述环形入射孔时存在阶跃峰;根据所述阶跃峰的峰值确定所述扫描电子显微镜发射的电子束的强度信息;获取所述电流曲线图中的阶跃峰间距和所述环形入射孔的尺寸大小;以及基于所述阶跃峰间距和所述尺寸大小确定所述电子束的定位信息,其中所述电子束的定位信息可实现电子束对中。利用本申请的方案,可以在实现电子束强度测量的同时实现电子束的位置定位,从而实现自动电子束对中,极大地提升电子束的测量效率和测量精度。
公开/授权文献
- CN118584529A 基于法拉第杯测量电子束的方法及相关产品 公开/授权日:2024-09-03