用于进行等离子体沉积工艺的设备和方法

    公开(公告)号:CN105110630A

    公开(公告)日:2015-12-02

    申请号:CN201510266815.9

    申请日:2015-05-22

    Abstract: 本发明涉及用于进行等离子体沉积工艺的设备和方法。所述方法包括以下步骤:i)提供中空基管;ii)将含掺杂剂的玻璃形成气体的供给流供给至步骤i)的基管,其中供给流包括主气体流和一种或多种副气体流;iii)通过电磁辐射在步骤ii)的基管的至少一部分中诱导等离子体以产生其中发生一个或多个玻璃层沉积在基管的内表面上的反应区;iv)在所述基管的位于供给侧附近的换向点与位于排出侧附近的换向点之间,遍及基管沿纵向往返移动反应区;其中每一往返移动称作冲程;其中步骤iii)期间至少一种副气体流的流动被中断一次或多次;各所述中断具有沿基管长度的作为等离子体轴向位置的函数的起点和终点;各所述中断的所述起点和所述终点均位于相同冲程内。

    内部气相沉积工艺
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102219371A

    公开(公告)日:2011-10-19

    申请号:CN201110092907.1

    申请日:2011-04-13

    Abstract: 本发明涉及一种内部气相沉积工艺。本发明涉及使用内部气相沉积工艺制造光纤用初级预制品的方法,所述方法包括以下步骤:i)设置具有供给侧和排出侧的中空玻璃基管,ii)由加热炉包围至少部分的中空玻璃基管,iii)将掺杂或未掺杂的玻璃形成气体经由中空玻璃基管的供给侧供给至所述中空玻璃基管的内部,iv)创建反应区,在所述反应区中创建条件以使玻璃沉积发生在中空玻璃基管的内部,和v)使反应区在位于中空玻璃基管的供给侧附近的换向点和位于中空玻璃基管的排出侧附近的换向点之间沿着中空玻璃基管的长度往复移动,其中,在至少部分步骤v)期间,当反应区沿排出侧的方向移动时,气体流包含第一浓度的含氟化合物。

    等离子体化学气相沉积装置
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115369380A

    公开(公告)日:2022-11-22

    申请号:CN202210540306.0

    申请日:2022-05-17

    Abstract: 本发明涉及一种等离子体化学气相沉积装置,其用于将一层或多层二氧化硅沉积到长中空玻璃基管的内壁上,该装置包括微波生成器、在使用中从所述生成器接收微波的等离子体生成器、延伸穿过所述生成器的筒形腔体、以及定位于腔体中的筒形衬套,其中基管在使用中穿过衬套,其中在衬套的一部分长度上,衬套具有内径减小的至少一个区段,该至少一个区段为基管提供接触区,其中微波生成器被构造为生成波长Lw在40mm至400mm范围内的微波,其中具有减小的内径的所述至少一个区段的长度为至多0.1×Lw,并且为至少1mm。

Patent Agency Ranking