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发明公开
利用聚焦太阳能退火工艺进行嵌段共聚物自组装的方法审中-实审

公开(公告)号：CN117810065A

公开(公告)日：2024-04-02

申请号：CN202211164883.0

申请日：2022-09-23

Applicant: 张江国家实验室

Inventor： 胡晓华 , 张蕊 , 吴智勇 , 熊诗圣

IPC: H01L21/027

Abstract: 本发明涉及一种利用聚焦太阳能退火工艺进行嵌段共聚物(Block Copolymer,BCP)自组装的方法，包括如下步骤：(1)在衬底上接枝无规共聚物；(2)在所述无规共聚物上涂覆包含与所述无规共聚物相对应的嵌段共聚物的材料；以及(3)利用聚焦太阳能退火工艺来驱动所述BCP进行微相分离，从而使所述BCP在所述衬底上进行自组装以形成有序结构。通过采用聚焦太阳能退火工艺，可在平面衬底以及图形引导模板上使BCP实现微相分离，能够显著降低BCP光刻的能耗、工艺时间及成本。

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