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公开(公告)号：CN105473522B
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201480046056.9
申请日：2014-06-20
申请人： 康宁股份有限公司
IPC分类号： C03C15/00
摘要： 一种蚀刻玻璃材料的方法，该方法包含提供蚀刻剂，该蚀刻剂包含10‑30体积％HF、5‑15体积％HNO3,和至少10体积％H3PO4，构成该蚀刻剂从而HF:HNO3的体积比例是1.7:1到2.3:1,提供待蚀刻的玻璃材料,和使该玻璃材料接触所述蚀刻剂。理想地，该蚀刻剂不具有其它酸组分。该方法可在20‑30℃的蚀刻剂温度下实施。玻璃材料可为铝硅酸盐玻璃。可将超声能量施加到蚀刻剂、玻璃材料或两者。
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公开(公告)号：CN109514106B
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN201811562320.0
申请日：2014-08-28
申请人： 康宁股份有限公司
IPC分类号： B23K26/382 , B23K26/402 , B23K26/70
摘要： 本发明涉及一种通过激光钻孔和酸蚀刻在玻璃基材中形成孔道的方法。在一种实施方式中，一种在玻璃基材中形成孔道的方法包括从玻璃基材的入射表面利用激光钻过该玻璃基材的厚度的至少一部分以形成孔道。本方法还包括对该玻璃基材进行一段蚀刻时间的蚀刻，以增加该孔道的入射开口的直径，并在蚀刻时间的至少一部分内对该玻璃基材施加超声波能量。所施加的超声波能量的频率为40kHz～192kHz。
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公开(公告)号：CN103237771A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201180057698.5
申请日：2011-11-30
申请人： 康宁股份有限公司
发明人： H·D·博克 , R·C·伯克特 , D·R·哈维 , A·M·斯特列利佐夫
CPC分类号： C03B33/082 , B23K26/382 , B23K26/384 , B23K26/386 , B23K26/389 , B23K26/40 , B23K26/402 , B23K2103/50 , C03C15/00 , C03C15/02 , C03C23/0025 , G02B6/1225 , G02B6/136
摘要： 提供了一种在玻璃中制造高密度孔阵列的方法，该方法包括以下步骤：提供具有前表面的玻璃片，然后用UV激光束照射玻璃片的前表面，照射的焦点在玻璃片前表面的+/-100μm内，最优选在玻璃片前表面的+/-50μm内。对于厚度在0.3-0.63mm之间的玻璃，聚焦激光的透镜的数值孔径优选在0.1-0.4的范围内，更优选在0.1-0.15的范围内，甚至更优选在0.12-0.13的范围内，从而产生从玻璃片的前表面102延伸进入玻璃片100的开孔，所述开孔的直径在5-15μm的范围内，长宽比至少为20:1。对于在0.1-0.3mm范围内的更薄的玻璃，数值孔径优选为0.25-0.4，更优选为0.25-0.3，并且激光束优选聚焦在玻璃前表面+/-30μm内。优选以小于或等于约15kHz的重复频率运行激光。然后可以通过蚀刻来扩大所产生的孔阵列。如果需要的话，可以在蚀刻之前对前表面进行抛光。
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公开(公告)号：CN106425129A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610872785.0
申请日：2011-11-30
申请人： 康宁股份有限公司
发明人： H·D·博克 , R·C·伯克特 , D·R·哈维 , A·M·斯特列利佐夫
IPC分类号： B23K26/386 , B23K26/402 , C03C15/00 , C03C23/00 , B23K26/382 , B23K26/384 , G02B6/122 , G02B6/136
CPC分类号： C03B33/082 , B23K26/382 , B23K26/384 , B23K26/386 , B23K26/389 , B23K26/40 , B23K26/402 , B23K2103/50 , C03C15/00 , C03C15/02 , C03C23/0025 , G02B6/1225 , G02B6/136
摘要： 提供了一种在玻璃中形成高密度孔阵列的方法，该方法包括以下步骤：提供具有前表面的玻璃片，然后用UV激光束照射玻璃片的前表面，照射的焦点在玻璃片前表面的+/-100μm内，最优选在玻璃片前表面的+/-50μm内。然后可以通过蚀刻来扩大所产生的孔阵列。如果需要的话，可以在蚀刻之前对前表面进行抛光。
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公开(公告)号：CN105682850A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201480059976.4
申请日：2014-08-28
申请人： 康宁股份有限公司
IPC分类号： B23K26/382
CPC分类号： C03C15/00 , B23K26/302 , B23K26/362 , B23K26/364 , B23K26/382 , B23K26/384 , B23K26/402 , B23K26/55 , B23K2103/54 , C03B33/0222 , C03C23/00 , C03C23/0025 , C03C2218/34 , H05K1/0306 , H05K3/0017 , H05K3/002 , H05K3/0029 , H05K2203/0285
摘要： 本发明涉及一种通过激光钻孔和酸蚀刻在玻璃基材中形成孔道的方法。在一种实施方式中，一种在玻璃基材中形成孔道的方法包括从玻璃基材的入射表面利用激光钻过该玻璃基材的厚度的至少一部分以形成孔道。本方法还包括对该玻璃基材进行一段蚀刻时间的蚀刻，以增加该孔道的入射开口的直径，并在蚀刻时间的至少一部分内对该玻璃基材施加超声波能量。所施加的超声波能量的频率为40kHz～192kHz。
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公开(公告)号：CN109514106A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811562320.0
申请日：2014-08-28
申请人： 康宁股份有限公司
IPC分类号： B23K26/382 , B23K26/402 , B23K26/70
摘要： 本发明涉及一种通过激光钻孔和酸蚀刻在玻璃基材中形成孔道的方法。在一种实施方式中，一种在玻璃基材中形成孔道的方法包括从玻璃基材的入射表面利用激光钻过该玻璃基材的厚度的至少一部分以形成孔道。本方法还包括对该玻璃基材进行一段蚀刻时间的蚀刻，以增加该孔道的入射开口的直径，并在蚀刻时间的至少一部分内对该玻璃基材施加超声波能量。所施加的超声波能量的频率为40kHz～192kHz。
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公开(公告)号：CN105682850B
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201480059976.4
申请日：2014-08-28
申请人： 康宁股份有限公司
IPC分类号： B23K26/382
摘要： 本发明涉及一种通过激光钻孔和酸蚀刻在玻璃基材中形成孔道的方法。在一种实施方式中，一种在玻璃基材中形成孔道的方法包括从玻璃基材的入射表面利用激光钻过该玻璃基材的厚度的至少一部分以形成孔道。本方法还包括对该玻璃基材进行一段蚀刻时间的蚀刻，以增加该孔道的入射开口的直径，并在蚀刻时间的至少一部分内对该玻璃基材施加超声波能量。所施加的超声波能量的频率为40kHz～192kHz。
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公开(公告)号：CN106425129B
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201610872785.0
申请日：2011-11-30
申请人： 康宁股份有限公司
发明人： H·D·博克 , R·C·伯克特 , D·R·哈维 , A·M·斯特列利佐夫
IPC分类号： B23K26/386 , B23K26/402 , C03C15/00 , C03C23/00 , B23K26/382 , B23K26/384 , G02B6/122 , G02B6/136
CPC分类号： C03B33/082 , B23K26/382 , B23K26/384 , B23K26/386 , B23K26/389 , B23K26/40 , B23K26/402 , B23K2103/50 , C03C15/00 , C03C15/02 , C03C23/0025 , G02B6/1225 , G02B6/136
摘要： 提供了一种在玻璃中形成高密度孔阵列的方法，该方法包括以下步骤：提供具有前表面的玻璃片，然后用UV激光束照射玻璃片的前表面，照射的焦点在玻璃片前表面的+/‑100μm内，最优选在玻璃片前表面的+/‑50μm内。然后可以通过蚀刻来扩大所产生的孔阵列。如果需要的话，可以在蚀刻之前对前表面进行抛光。
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公开(公告)号：CN103237771B
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：CN201180057698.5
申请日：2011-11-30
申请人： 康宁股份有限公司
发明人： H·D·博克 , R·C·伯克特 , D·R·哈维 , A·M·斯特列利佐夫
CPC分类号： C03B33/082 , B23K26/382 , B23K26/384 , B23K26/386 , B23K26/389 , B23K26/40 , B23K26/402 , B23K2103/50 , C03C15/00 , C03C15/02 , C03C23/0025 , G02B6/1225 , G02B6/136
摘要： 提供了一种在玻璃中制造高密度孔阵列的方法，该方法包括以下步骤：提供具有前表面的玻璃片，然后用UV激光束照射玻璃片的前表面，照射的焦点在玻璃片前表面的+/‑100μm内，最优选在玻璃片前表面的+/‑50μm内。对于厚度在0.3‑0.63mm之间的玻璃，聚焦激光的透镜的数值孔径优选在0.1‑0.4的范围内，更优选在0.1‑0.15的范围内，甚至更优选在0.12‑0.13的范围内，从而产生从玻璃片的前表面102延伸进入玻璃片100的开孔，所述开孔的直径在5‑15μm的范围内，长宽比至少为20:1。对于在0.1‑0.3mm范围内的更薄的玻璃，数值孔径优选为0.25‑0.4，更优选为0.25‑0.3，并且激光束优选聚焦在玻璃前表面+/‑30μm内。优选以小于或等于约15kHz的重复频率运行激光。然后可以通过蚀刻来扩大所产生的孔阵列。如果需要的话，可以在蚀刻之前对前表面进行抛光。
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公开(公告)号：CN105473522A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201480046056.9
申请日：2014-06-20
申请人： 康宁股份有限公司
IPC分类号： C03C15/00
摘要： 一种蚀刻玻璃材料的方法，该方法包含提供蚀刻剂，该蚀刻剂包含10-30体积％HF、5-15体积％HNO3,和至少10体积％H3PO4，构成该蚀刻剂从而HF:HNO3的体积比例是1.7:1到2.3:1,提供待蚀刻的玻璃材料,和使该玻璃材料接触所述蚀刻剂。理想地，该蚀刻剂不具有其它酸组分。该方法可在20-30℃的蚀刻剂温度下实施。玻璃材料可为铝硅酸盐玻璃。可将超声能量施加到蚀刻剂、玻璃材料或两者。
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