公开(公告)号：CN101796481A

公开(公告)日：2010-08-04

申请号：CN200880105071.0

申请日：2008-08-29

申请人： 应用材料股份有限公司

发明人： 罗伯特·Z·巴克拉克 ,  蔡容基 ,  崔寿永 ,  尼古拉斯·G·J·德弗里 ,  雅科夫·埃尔格 ,  埃里克·A·恩格尔哈特 ,  米歇尔·R·弗赖 ,  查尔斯·盖伊 ,  帕里斯·霍金斯 ,  乔伊·胡 ,  詹姆斯·克雷格·亨特 ,  潘查拉·N·坎卡纳拉 ,  李利伟 ,  温·胡·罗 ,  丹尼·卡姆·托恩·鲁 ,  方·梅 ,  斯蒂芬·P·墨菲 ,  斯鲁杰尔·帕特尔 ,  马修·J·B·桑德斯 ,  阿萨夫·施莱辛格 ,  盛殊然 ,  苏杰发 ,  杰弗里·S·沙利文 ,  戴维·坦纳 ,  特雷莎·特罗布里奇 ,  布赖斯·沃克 ,  约翰·M·怀特 ,  泰·K·王

IPC分类号： G06F7/10 ,  H01L31/06 ,  H01L21/4763

CPC分类号： H01L21/67236 ,  B23K26/364 ,  B26F3/002 ,  B26F3/004 ,  B65G49/064 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/04 ,  C03B33/03 ,  C03B33/033 ,  H01L21/67132 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/67721 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6776 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/03921 ,  H01L31/0504 ,  H01L31/075 ,  H02S50/00 ,  H02S50/10 ,  Y02E10/548 ,  Y02P40/57 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T29/49355 ,  Y10T29/5196 ,  Y10T29/53113 ,  Y10T29/5313 ,  Y10T29/5317 ,  Y10T29/53187 ,  Y10T29/53365 ,  Y10T29/53417 ,  Y10T225/10 ,  Y10T225/325 ,  Y10T225/329

摘要： 本发明涉及利用适以在形成太阳能电池的处理中执行一或多个步骤的处理模块来形成光电装置或太阳能电池的系统。自动化太阳能电池工厂一般配置有用来形成太阳能电池的自动化处理模块和自动化设备。此自动化太阳能电池工厂因此大致包含一基板接收模块，用来接收基板；一或多个吸收层沉积群集工具，具有至少一个处理腔室可沉积含硅层在基板表面上；一或多个背接触沉积腔室；一或多个材料移除腔室；太阳能电池封装装置；热压釜模块；自动化接线箱附接模块；和一或多个质量确保模块，适以测试及合格化已完全形成的太阳能电池装置。

公开(公告)号：CN101541486A

公开(公告)日：2009-09-23

申请号：CN200880000176.X

申请日：2008-08-29

申请人： 应用材料股份有限公司

发明人： 罗伯特·Z·巴克拉克 ,  蔡用起 ,  崔寿永 ,  尼古拉斯·G·J·德弗里 ,  雅科夫·埃尔格 ,  埃里克·A·恩格尔哈特 ,  米歇尔·R弗赖 ,  查尔斯·盖伊 ,  帕里斯·霍金斯 ,  乔伊·胡 ,  詹姆斯·克雷格·亨特 ,  潘查拉·N·坎卡纳拉 ,  李利伟 ,  温·胡·罗 ,  丹尼·卡姆·托恩·鲁 ,  方·梅 ,  斯蒂芬·P·墨菲 ,  斯鲁杰尔·帕特尔 ,  马修·J·B·桑德斯 ,  阿萨夫·施莱辛格 ,  舒然·沈 ,  苏杰发 ,  杰弗里·S·沙利文 ,  戴维·坦纳 ,  特雷莎·特罗布里奇 ,  布赖斯·沃克 ,  约翰·M·怀特 ,  泰·K·王

IPC分类号： B26D3/06 ,  H01L21/00

摘要： 本发明一般涉及到划分定位在自动化太阳能器件制造系统内的划分模块。该太阳能电池器件制造系统适合于接收单个大基板和由该单个大基板形成多个硅薄膜太阳能电池器件。