公开(公告)号：CN100526897C

公开(公告)日：2009-08-12

申请号：CN200380103561.4

申请日：2003-11-14

申请人： 应用材料有限公司

发明人： 马蒂亚斯·布伦纳

IPC分类号： G01R31/28 ,  G09G3/00 ,  G01R31/302

CPC分类号： G09G3/006 ,  G01R31/2887 ,  G01R31/302

摘要： 本发明涉及定位基底(140)以及为了用具有光轴或相应设备的检验装置检验而接触检验对象(301)的方法。从而，基底被放置在支撑台(130)上。相对于光轴定位基底。接触单元(150)也相对于光轴被定位，其中接触单元的定位与基底的定位操作无关。因此可以实现基底上检验对象的灵活接触。

公开(公告)号：CN1714298A

公开(公告)日：2005-12-28

申请号：CN200380103561.4

申请日：2003-11-14

申请人： 应用材料有限公司

发明人： 马蒂亚斯·布伦纳

IPC分类号： G01R31/305 ,  G01R31/28 ,  G09G3/00 ,  G01R31/302 ,  G01R1/073

CPC分类号： G09G3/006 ,  G01R31/2887 ,  G01R31/302

摘要： 本发明涉及定位基底(140)以及为了用具有光轴或相应设备的检验装置检验而接触检验对象(301)的方法。从而，基底被放置在支撑台(130)上。相对于光轴定位基底。接触单元(150)也相对于光轴被定位，其中接触单元的定位与基底的定位操作无关。因此可以实现基底上检验对象的灵活接触。

公开(公告)号：CN101625823B

公开(公告)日：2013-04-17

申请号：CN200910150538.X

申请日：2003-11-14

申请人： 应用材料有限公司

发明人： 马蒂亚斯·布伦纳

IPC分类号： G01R31/305

CPC分类号： G09G3/006 ,  G01R31/2887 ,  G01R31/302

摘要： 本发明涉及定位基底(140)以及为了用具有光轴或相应设备的检验装置检验而接触检验对象(301)的方法。从而，基底被放置在支撑台(130)上。相对于光轴定位基底。接触单元(150)也相对于光轴被定位，其中接触单元的定位与基底的定位操作无关。因此可以实现基底上检验对象的灵活接触。

公开(公告)号：CN101625823A

公开(公告)日：2010-01-13

申请号：CN200910150538.X

申请日：2003-11-14

申请人： 应用材料有限公司

发明人： 马蒂亚斯·布伦纳

IPC分类号： G09G3/00 ,  G01R1/04 ,  G01R31/28 ,  G01R31/02 ,  G01R31/305

CPC分类号： G09G3/006 ,  G01R31/2887 ,  G01R31/302

摘要： 本发明涉及定位基底(140)以及为了用具有光轴或相应设备的检验装置检验而接触检验对象(301)的方法。从而，基底被放置在支撑台(130)上。相对于光轴定位基底。接触单元(150)也相对于光轴被定位，其中接触单元的定位与基底的定位操作无关。因此可以实现基底上检验对象的灵活接触。