公开(公告)号：CN109314039B

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN201780024022.3

申请日：2017-01-25

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 林兴 ,  周建华 ,  E·P·哈蒙德四世 ,  Z·J·叶 ,  Z·苏 ,  J·赵 ,  J·C·罗查-阿尔瓦雷斯

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/205 ,  H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H05H1/46 ,  H01J37/32

Abstract: 提供了一种用于加热的基板支撑基座的方法及装置。在一个实施例中，该加热的基板支撑基座包括：主体，包括陶瓷材料；多个加热元件，封装在该主体内。柱耦合至该主体的底面。多个加热器元件、顶电极及屏蔽电极安置在该主体内。该顶电极安置在该主体的顶面附近，而该屏蔽电极安置在该主体的该底面附近。导电杆被安置成穿过该柱且耦合至该顶电极。

公开(公告)号：CN109314039A

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201780024022.3

申请日：2017-01-25

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 林兴 ,  周建华 ,  E·P·哈蒙德四世 ,  Z·J·叶 ,  Z·苏 ,  J·赵 ,  J·C·罗查-阿尔瓦雷斯

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/205 ,  H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H05H1/46 ,  H01J37/32

Abstract: 提供了一种用于加热的基板支撑基座的方法及装置。在一个实施例中，该加热的基板支撑基座包括：主体，包括陶瓷材料；多个加热元件，封装在该主体内。柱耦合至该主体的底面。多个加热器元件、顶电极及屏蔽电极安置在该主体内。该顶电极安置在该主体的顶面附近，而该屏蔽电极安置在该主体的该底面附近。导电杆被安置成穿过该柱且耦合至该顶电极。