公开(公告)号：CN110023660B

公开(公告)日：2021-12-21

申请号：CN201780074468.7

申请日：2017-12-01

Applicant: 应用材料公司

Inventor： C·T·卡尔森 ,  T·J·普莱德 ,  B·B·莱尔顿 ,  A·韦伯

IPC: F16K1/20 ,  F16K27/02

Abstract: 本公开的实施例整体涉及一种挡板阀。所述挡板阀可以与处理腔室(诸如，半导体基板处理腔室)一起使用。在一个实施例中，一种挡板阀包括：壳体，所述壳体具有在所述壳体的第一端处的第一开口和在所述壳体的第二端处的第二开口；第一挡板，所述第一挡板可枢转地设置在所述壳体中；以及第二挡板，所述第二挡板可枢转地设置在所述壳体中。所述第一挡板和所述第二挡板可移动以选择性地打开和关闭所述第一开口和所述第二开口中的至少一个。

公开(公告)号：CN110023660A

公开(公告)日：2019-07-16

申请号：CN201780074468.7

申请日：2017-12-01

Applicant: 应用材料公司

Inventor： C·T·卡尔森 ,  T·J·普莱德 ,  B·B·莱尔顿 ,  A·韦伯

IPC: F16K1/20 ,  F16K27/02

Abstract: 本公开的实施例整体涉及一种挡板阀。所述挡板阀可以与处理腔室(诸如，半导体基板处理腔室)一起使用。在一个实施例中，一种挡板阀包括：壳体，所述壳体具有在所述壳体的第一端处的第一开口和在所述壳体的第二端处的第二开口；第一挡板，所述第一挡板可枢转地设置在所述壳体中；以及第二挡板，所述第二挡板可枢转地设置在所述壳体中。所述第一挡板和所述第二挡板可移动以选择性地打开和关闭所述第一开口和所述第二开口中的至少一个。