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公开(公告)号：CN116249949A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202280006233.5
申请日：2022-01-04
Applicant: 应用材料公司
IPC: G05D7/06
Abstract: 提供一种气体分配设备，具有第一储存器和第二储存器，所述第一储存器具有第一上游端和第一下游端，所述第二储存器具有第二上游端和第二下游端。储存器切换阀与第一储存器的第一下游端和第二储存器的第二下游端流体连通。储存器切换阀可操作以选择性地在处于第一状态时将第一储存器耦合至储存器切换阀的出口，并且在处于第二状态时将第二储存器耦合至储存器切换阀的出口。提供多个比例流量控制阀，所述多个比例流量控制阀具有入口，所述入口并联耦合至储存器切换阀的出口。多个比例流量控制阀具有被配置成将气体提供至处理腔室的出口。
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