公开(公告)号：CN104995719B

公开(公告)日：2017-12-19

申请号：CN201480004346.7

申请日：2014-01-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： D·卢博米尔斯基 ,  V·克尼亚齐克 ,  H·诺巴卡施 ,  J·德拉 ,  罗萨 ,  Z·J·叶 ,  J·Y·孙 ,  S·班达

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/3065

CPC classification number: B05B1/005 ,  B05B1/185 ,  C23C16/45565 ,  H01J37/3211 ,  H01J37/32146 ,  H01J37/32183 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32467 ,  H01J37/32522 ,  H01J37/32623

Abstract: 兹提供具有可拆卸式气体分配板的喷淋头的实施例。在一些实施例中，一种使用于半导体处理腔室的喷淋头可包括：基座，该基座具有第一侧与第二侧；气体分配板，该气体分配板设置成邻近于该基座的该第二侧；及夹具，该夹具设置于接近该气体分配板的周围边缘以将该气体分配板以可移除方式耦接于该基座；以及热垫片，该热垫片设置于该基座与该气体分配板之间。

公开(公告)号：CN107578976B

公开(公告)日：2020-09-08

申请号：CN201710811999.1

申请日：2014-01-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： D·卢博米尔斯基 ,  V·克尼亚齐克 ,  H·诺巴卡施 ,  J·德拉 ,  罗萨 ,  Z·J·叶 ,  J·Y·孙 ,  S·班达

IPC: H01J37/32 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  B05B1/00 ,  B05B1/18 ,  C23C16/455

Abstract: 本申请公开了具有可拆卸式气体分配板的喷淋头的实施例。在一些实施例中，一种使用于基板处理腔室的喷淋头，可包括：主体，所述主体具有第一侧与相对的第二侧；气体分配板，所述气体分配板设置成邻近于所述主体的所述第二侧；以及夹具，所述夹具围绕所述气体分配板的周围边缘设置以将所述气体分配板以可移除方式耦接至所述主体，其中所述主体通过所述夹具电耦接至所述气体分配板。

公开(公告)号：CN107578976A

公开(公告)日：2018-01-12

申请号：CN201710811999.1

申请日：2014-01-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： D·卢博米尔斯基 ,  V·克尼亚齐克 ,  H·诺巴卡施 ,  J·德拉 ,  罗萨 ,  Z·J·叶 ,  J·Y·孙 ,  S·班达

IPC: H01J37/32 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  B05B1/00 ,  B05B1/18 ,  C23C16/455

Abstract: 本申请公开了具有可拆卸式气体分配板的喷淋头的实施例。在一些实施例中，一种使用于基板处理腔室的喷淋头，可包括：主体，所述主体具有第一侧与相对的第二侧；气体分配板，所述气体分配板设置成邻近于所述主体的所述第二侧；以及夹具，所述夹具围绕所述气体分配板的周围边缘设置以将所述气体分配板以可移除方式耦接至所述主体，其中所述主体通过所述夹具电耦接至所述气体分配板。