公开(公告)号：CN105308211A

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：CN201480032438.6

申请日：2014-03-12

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 赵来 ,  古田学 ,  王群华 ,  崔寿永 ,  D·李 ,  B·S·朴 ,  H-L·杨

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C16/505 ,  C23C16/45565

Abstract: 在一个实施例中，用于沉积腔室的扩散器包括板和多个气体通道，所述板具有数个边缘区域、数个角落区域和中央区域，所述多个气体通道包括孔洞，所述多个气体通道形成在所述板的上游侧与下游侧之间，其中，在所述板的角落区域或边缘区域中的一个或多个中的孔洞的长度或直径中的一项或多项与在所述板的中央区域中的孔洞的对应长度或对应直径不同。

公开(公告)号：CN105308211B

公开(公告)日：2018-04-24

申请号：CN201480032438.6

申请日：2014-03-12

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 赵来 ,  古田学 ,  王群华 ,  崔寿永 ,  D·李 ,  B·S·朴 ,  H-L·杨

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C16/505 ,  C23C16/45565

Abstract: 在一个实施例中，用于沉积腔室的扩散器包括板和多个气体通道，所述板具有数个边缘区域、数个角落区域和中央区域，所述多个气体通道包括孔洞，所述多个气体通道形成在所述板的上游侧与下游侧之间，其中，在所述板的角落区域或边缘区域中的一个或多个中的孔洞的长度或直径中的一项或多项与在所述板的中央区域中的孔洞的对应长度或对应直径不同。

公开(公告)号：CN203820883U

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201320789059.4

申请日：2013-12-03

Applicant: 应用材料公司

Inventor： L·赵 ,  古田学 ,  王群华 ,  崔寿永 ,  D·李 ,  朴范洙 ,  H-L·杨

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/513

CPC classification number: C23C16/505 ,  C23C16/45565

Abstract: 本申请公开了用于沉积腔室的扩散器。本实用新型通常涉及气体分配板，所述气体分配板被设计以确保基板上的大体上均匀沉积。气体分配板可补偿基板角落区域以及基板边缘中的非均匀性。为了补偿非均匀性，气体通道口可被根据需要不同地定尺寸以使得允许更多的气体流过某些策略上放置的气体通道，以增加位于气体分配板之下的基板区域中的基板上的沉积。可改变孔口尺寸以形成产生大体上均匀沉积的孔口直径梯度或直径混合。

公开(公告)号：CN204039498U

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201420458984.3

申请日：2013-12-03

Applicant: 应用材料公司

Inventor： L·赵 ,  古田学 ,  王群华 ,  崔寿永 ,  D·李 ,  朴范洙 ,  H-L·杨

IPC: C23C16/455

CPC classification number: C23C16/505 ,  C23C16/45565

Abstract: 本申请公开了扩散器。本实用新型通常涉及气体分配板，所述气体分配板被设计以确保基板上的大体上均匀沉积。气体分配板可补偿基板角落区域以及基板边缘中的非均匀性。为了补偿非均匀性，气体通道口可被根据需要不同地定尺寸以使得允许更多的气体流过某些策略上放置的气体通道，以增加位于气体分配板之下的基板区域中的基板上的沉积。可改变孔口尺寸以形成产生大体上均匀沉积的孔口直径梯度或直径混合。