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公开(公告)号：CN102725830A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201180007401.4
申请日：2011-05-17
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/304 , H01L21/66
CPC classification number: B24B37/005 , B24B37/042 , B24B37/32
Abstract: 本文描述一种用以监控一固定环的表面状况的方法及设备，其中该固定环设置在一研磨模组中的一载具头上。在一实施例中，提供一种设备。该设备包括：一载具头，载具头可在基材被固定在载具头中时移动于介于用来研磨基材的至少一个研磨站之间的一行进路径中；以及一传送站，传送站用以传送基材至载具头与自载具头传送基材，载具头具有一固定环以及设置在载具头的行进路径中的一感应器，感应器能够操作以提供可指示固定环的状况的度量。
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公开(公告)号：CN102725830B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201180007401.4
申请日：2011-05-17
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/304 , H01L21/66
CPC classification number: B24B37/005 , B24B37/042 , B24B37/32
Abstract: 本文描述一种用以监控固定环的表面的状况的方法及设备，其中该固定环设置在抛光模组中的载具头上。在一实施例中，提供一种设备。该设备包括：载具头，该载具头可移动于至少一个抛光台之间的行进路径中，所述抛光台用于在基片被固定在载具头中时抛光基片；以及传送台，该传送台用以传送基片至载具头与自载具头传送基片，载具头具有固定环以及设置在载具头的行进路径中的感应器，感应器能够操作以提供可指示固定环的状况的度量。
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公开(公告)号：CN102405535A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201080018150.5
申请日：2010-04-06
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L31/042 , H01L31/18
CPC classification number: H05K3/321 , H01L21/67138 , H01L21/67712 , H01L21/67727 , H01L21/67754 , H01L21/6776 , H01L31/0201 , H01L31/046 , H01L31/048 , H01L31/0512 , H01L31/188 , H05K2203/0278 , Y02E10/50 , Y10T29/49117 , Y10T29/49126 , Y10T29/4913 , Y10T29/49155
Abstract: 本发明的实施例提供了一种在装置上形成电连接的方法。在一实施例中，电连接经由具有导电颗粒的粘着剂附接至该装置。在一实施例中，粘着剂在施加压力时被固化，以使导电颗粒对准，颗粒与颗粒间的间距减小，或者彼此接触以在电连接与装置之间提供更直接的导电(电阻较小)路径。在本发明的一实施例中，提供了一种在形成太阳能电池装置期间在部分形成的太阳能电池上形成电性引线的方法。该方法包含以下步骤：将侧汇流排导线置放于导电粘着剂的图案上，该导电粘着剂配置于太阳能电池装置基板的背接触层上；将在太阳能电池装置基板与背玻璃基板之间的侧汇流排导线与导电粘着剂层压，以形成复合太阳能电池结构；及当向复合太阳能电池结构施加压力并加热时固化导电粘着剂。
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