公开(公告)号：CN113508191B

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN202080017675.0

申请日：2020-02-27

Applicant: 应用材料公司

Inventor： S·阿加瓦尔 ,  S·巴录佳 ,  C·彼德森 ,  M·R·赖斯

IPC: C23C16/455

Abstract: 一种用于处理腔室的喷淋头组件的气体分布板可包括至少第一板及第二板。该第一板可包括第一多个孔洞，该第一多个孔洞各自具有至少大约100um的直径。该第二板可包括第二多个孔洞，该第二多个孔洞各自具有至少大约100um的直径。进一步，该第一多个孔洞中的每一个与该第二多个孔洞中的相应孔洞对准而形成多个互连孔洞。该多个互连孔洞中的每一个与每一个其他互连孔洞隔离。

公开(公告)号：CN113508191A

公开(公告)日：2021-10-15

申请号：CN202080017675.0

申请日：2020-02-27

Applicant: 应用材料公司

Inventor： S·阿加瓦尔 ,  S·巴录佳 ,  C·彼德森 ,  M·R·赖斯

IPC: C23C16/455

Abstract: 一种用于处理腔室的喷淋头组件的气体分布板可包括至少第一板及第二板。该第一板可包括第一多个孔洞，该第一多个孔洞各自具有至少大约100um的直径。该第二板可包括第二多个孔洞，该第二多个孔洞各自具有至少大约100um的直径。进一步，该第一多个孔洞中的每一个与该第二多个孔洞中的相应孔洞对准而形成多个互连孔洞。该多个互连孔洞中的每一个与每一个其他互连孔洞隔离。

公开(公告)号：CN113490765A

公开(公告)日：2021-10-08

申请号：CN202080016998.8

申请日：2020-02-18

Applicant: 应用材料公司

Inventor： S·阿加瓦尔 ,  C·彼德森 ,  M·舒尔

IPC: C23C16/455 ,  C23C14/22

Abstract: 喷头组件包含支撑结构和多孔板。支撑结构包含支撑特征。多孔板具有至少约50W/(mK)的热传导性并且包括多个孔，所述多个孔具有小于约100um的平均直径，其中多孔板的周边的至少一部分安置在支撑特征上。喷头可被包含在用于处理基板的处理腔室内。