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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106463362A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580025098.9
申请日：2015-04-21
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/205 , H01L21/02
Abstract: 本公开的实施例总体上涉及适于在一个时间同时固化多个基板的批量处理腔室。批量处理腔室包括各自独立地温度受控制的多个处理子区域。批量处理腔室可包括第一与第二子处理区域，第一与第二子处理区域各自由在批量处理腔室外的基板传送装置服务。此外，安装于批量固化腔室的装载开口上的槽形盖部减少周围空气在装载与卸载期间进入腔室的效果。
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公开(公告)号：CN110828346A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201911127078.9
申请日：2015-04-21
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , C23C16/56
Abstract: 本公开的实施例总体上涉及适于在一个时间同时固化多个基板的批量处理腔室。批量处理腔室包括各自独立地温度受控制的多个处理子区域。批量处理腔室可包括第一与第二子处理区域，第一与第二子处理区域各自由在批量处理腔室外的基板传送装置服务。此外，安装于批量固化腔室的装载开口上的槽形盖部减少周围空气在装载与卸载期间进入腔室的效果。
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公开(公告)号：CN117198935A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311176344.3
申请日：2015-04-21
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , C23C16/54 , C23C16/56
Abstract: 本公开的实施例总体上涉及适于在一个时间同时固化多个基板的批量处理腔室。批量处理腔室包括各自独立地温度受控制的多个处理子区域。批量处理腔室可包括第一与第二子处理区域，第一与第二子处理区域各自由在批量处理腔室外的基板传送装置服务。此外，安装于批量固化腔室的装载开口上的槽形盖部减少周围空气在装载与卸载期间进入腔室的效果。
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公开(公告)号：CN110828346B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN201911127078.9
申请日：2015-04-21
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , C23C16/56
Abstract: 本公开的实施例总体上涉及适于在一个时间同时固化多个基板的批量处理腔室。批量处理腔室包括各自独立地温度受控制的多个处理子区域。批量处理腔室可包括第一与第二子处理区域，第一与第二子处理区域各自由在批量处理腔室外的基板传送装置服务。此外，安装于批量固化腔室的装载开口上的槽形盖部减少周围空气在装载与卸载期间进入腔室的效果。
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公开(公告)号：CN106463362B
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201580025098.9
申请日：2015-04-21
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/205 , H01L21/02
Abstract: 本公开的实施例总体上涉及适于在一个时间同时固化多个基板的批量处理腔室。批量处理腔室包括各自独立地温度受控制的多个处理子区域。批量处理腔室可包括第一与第二子处理区域，第一与第二子处理区域各自由在批量处理腔室外的基板传送装置服务。此外，安装于批量固化腔室的装载开口上的槽形盖部减少周围空气在装载与卸载期间进入腔室的效果。
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