公开(公告)号：CN108231518B

公开(公告)日：2022-08-12

申请号：CN201711276381.6

申请日：2017-12-06

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 赫曼特·P·蒙格卡尔 ,  威廉·普赖尔 ,  蒋志钧

IPC: H01J37/32

Abstract: 本公开内容的实施方式大体涉及用于清洁处理腔室的方法。更特定地，本文中描述的实施方式涉及用于确定处理腔室清洁终点的方法。在一些实施方式中，提供一种用于检测清洁终点的“虚拟传感器”。“虚拟传感器”基于监测腔室前级管道压力在腔室的清洁期间的趋势，腔室的清洁涉及例如通过与如氟等离子体的蚀刻剂反应而将腔室部件上的固体沉积膜转化为气态副产物。已经通过将“虚拟传感器”响应与基于红外的光学测量进行比较而确认了“虚拟传感器”的有效性。在另一实施方式中，提供考虑到因设施设计和随时间的前级管道堵塞而造成的前级管道压力差的方法。

公开(公告)号：CN108231518A

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：CN201711276381.6

申请日：2017-12-06

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 赫曼特·P·蒙格卡尔 ,  威廉·普赖尔 ,  蒋志钧

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32963 ,  C23C16/4405 ,  G01B11/06 ,  G01B11/0683 ,  H01J37/32 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32972 ,  H01J37/32981 ,  H01L21/67

Abstract: 本公开内容的实施方式大体涉及用于清洁处理腔室的方法。更特定地，本文中描述的实施方式涉及用于确定处理腔室清洁终点的方法。在一些实施方式中，提供一种用于检测清洁终点的“虚拟传感器”。“虚拟传感器”基于监测腔室前级管道压力在腔室的清洁期间的趋势，腔室的清洁涉及例如通过与如氟等离子体的蚀刻剂反应而将腔室部件上的固体沉积膜转化为气态副产物。已经通过将“虚拟传感器”响应与基于红外的光学测量进行比较而确认了“虚拟传感器”的有效性。在另一实施方式中，提供考虑到因设施设计和随时间的前级管道堵塞而造成的前级管道压力差的方法。