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公开(公告)号：CN116685927B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202280009331.4
申请日：2022-01-07
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 米特斯·桑维 , 文卡塔纳拉亚纳·尚卡拉穆尔提 , 彼得·斯坦迪什 , 安东·巴里什尼科夫 , 托尔斯滕·克里尔 , 查哈尔·尼玛 , 维沙尔·苏雷什·贾马坎迪 , 阿布吉特·阿肖克·坎古德
Abstract: 一种方法包含以下步骤：识别针对用于在多个处理腔室内执行工艺流体输送的时间长度的时间值，所述多个处理腔室并发地处理多个基板；将每个时间值转换为用于执行处理配方的操作的配方参数；及引起使用每个配方参数作为控制值来执行操作，以控制多个处理腟室的流体面板的阀。对于多个处理腔室中的每个处理腔室：引起工艺流体流动至处理腔室达对应于第一时间值的第一时间段；及引起工艺流体流动至处理腔室的转向前级管道达第二时间段，所述第二时间段基于操作的时间步长和所述时间值。
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公开(公告)号：CN105518654A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201480048641.2
申请日：2014-08-21
Applicant: 应用材料公司
IPC: G06F17/00
CPC classification number: G05B23/024
Abstract: 本发明提供一种服务器计算机系统，所述服务器计算机系统为运行配方的第一工具建立参考指纹。服务器计算机系统使用参考数据来建立参考指纹，所述参考数据与在参数之内执行的第一工具相关。参考指纹包括目标基线及基于目标基线的允许范围。服务器计算机系统基于样本数据与参考指纹的比较，确定与运行配方的第二工具相关联的样本数据是否在参数之内执行。第二工具可为第一工具或与所述第一工具相同类型的另一工具。服务器计算机系统基于样本数据与参考指纹的比较向系统或用户中的至少之一提供第二工具的分类。所述分类指示第二工具是否在参数之内执行。
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公开(公告)号：CN118633065A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202380021675.1
申请日：2023-03-15
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 迈克尔·豪厄尔斯 , 托尔斯滕·克里尔 , 赫曼斯·科纳努尔·纳根德拉 , 贾廷德·萨桑
IPC: G05B19/418 , G06N20/00 , G05B23/02 , H04L67/12 , H01L21/67
Abstract: 一种电子器件制造系统包括处理工具以及工具服务器，该工具服务器与该处理工具耦合，并包括通信节点和评估系统。该通信节点被配置为从评估系统获得一个或多个属性，以及提供监测装置，该监测装置包括基于该一个或多个属性的数据收集计划。该通信节点被进一步配置为将该监测装置与处理工具进行注册。该通信节点被进一步配置为基于该数据收集计划从该处理工具接收数据，以及向该评估系统发送接收到的该数据。
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公开(公告)号：CN105518654B
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201480048641.2
申请日：2014-08-21
Applicant: 应用材料公司
IPC: G06K9/62
Abstract: 本发明提供一种服务器计算机系统，所述服务器计算机系统为运行配方的第一工具建立参考指纹。服务器计算机系统使用参考数据来建立参考指纹，所述参考数据与在参数之内执行的第一工具相关。参考指纹包括目标基线及基于目标基线的允许范围。服务器计算机系统基于样本数据与参考指纹的比较，确定与运行配方的第二工具相关联的样本数据是否在参数之内执行。第二工具可为第一工具或与所述第一工具相同类型的另一工具。服务器计算机系统基于样本数据与参考指纹的比较向系统或用户中的至少之一提供第二工具的分类。所述分类指示第二工具是否在参数之内执行。
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公开(公告)号：CN116685927A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202280009331.4
申请日：2022-01-07
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 米特斯·桑维 , 文卡塔纳拉亚纳·尚卡拉穆尔提 , 彼得·斯坦迪什 , 安东·巴里什尼科夫 , 托尔斯滕·克里尔 , 查哈尔·尼玛 , 维沙尔·苏雷什·贾马坎迪 , 阿布吉特·阿肖克·坎古德
IPC: G05D7/06
Abstract: 一种方法包含以下步骤：识别针对用于在多个处理腔室内执行工艺流体输送的时间长度的时间值，所述多个处理腔室并发地处理多个基板；将每个时间值转换为用于执行处理配方的操作的配方参数；及引起使用每个配方参数作为控制值来执行操作，以控制多个处理腟室的流体面板的阀。对于多个处理腔室中的每个处理腔室：引起工艺流体流动至处理腔室达对应于第一时间值的第一时间段；及引起工艺流体流动至处理腔室的转向前级管道达第二时间段，所述第二时间段基于操作的时间步长和所述时间值。
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