公开(公告)号：CN116685927B

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202280009331.4

申请日：2022-01-07

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 米特斯·桑维 ,  文卡塔纳拉亚纳·尚卡拉穆尔提 ,  彼得·斯坦迪什 ,  安东·巴里什尼科夫 ,  托尔斯滕·克里尔 ,  查哈尔·尼玛 ,  维沙尔·苏雷什·贾马坎迪 ,  阿布吉特·阿肖克·坎古德

IPC: H01L21/67 ,  G05D7/06

Abstract: 一种方法包含以下步骤：识别针对用于在多个处理腔室内执行工艺流体输送的时间长度的时间值，所述多个处理腔室并发地处理多个基板；将每个时间值转换为用于执行处理配方的操作的配方参数；及引起使用每个配方参数作为控制值来执行操作，以控制多个处理腟室的流体面板的阀。对于多个处理腔室中的每个处理腔室：引起工艺流体流动至处理腔室达对应于第一时间值的第一时间段；及引起工艺流体流动至处理腔室的转向前级管道达第二时间段，所述第二时间段基于操作的时间步长和所述时间值。

公开(公告)号：CN116685927A

公开(公告)日：2023-09-01

申请号：CN202280009331.4

申请日：2022-01-07

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 米特斯·桑维 ,  文卡塔纳拉亚纳·尚卡拉穆尔提 ,  彼得·斯坦迪什 ,  安东·巴里什尼科夫 ,  托尔斯滕·克里尔 ,  查哈尔·尼玛 ,  维沙尔·苏雷什·贾马坎迪 ,  阿布吉特·阿肖克·坎古德

IPC: G05D7/06

Abstract: 一种方法包含以下步骤：识别针对用于在多个处理腔室内执行工艺流体输送的时间长度的时间值，所述多个处理腔室并发地处理多个基板；将每个时间值转换为用于执行处理配方的操作的配方参数；及引起使用每个配方参数作为控制值来执行操作，以控制多个处理腟室的流体面板的阀。对于多个处理腔室中的每个处理腔室：引起工艺流体流动至处理腔室达对应于第一时间值的第一时间段；及引起工艺流体流动至处理腔室的转向前级管道达第二时间段，所述第二时间段基于操作的时间步长和所述时间值。