公开(公告)号：CN112714949B

公开(公告)日：2024-10-22

申请号：CN201980060825.3

申请日：2019-09-27

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 德瑞蒂曼·苏巴·卡什亚普 ,  戈普·克里希纳 ,  桑吉夫·巴鲁贾 ,  迈克尔·赖斯

IPC: H01L21/67

Abstract: 描述了包括多个站开口的多站处理腔室盖。站分离净化通道围绕站开口。多个成角度的净化通道将站开口与相邻的站开口分离。盖支撑梁可以补偿腔室盖主体的挠曲。

公开(公告)号：CN119480692A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202411394138.4

申请日：2019-09-27

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 德瑞蒂曼·苏巴·卡什亚普 ,  戈普·克里希纳 ,  桑吉夫·巴鲁贾 ,  迈克尔·赖斯

IPC: H01L21/67 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52

Abstract: 描述了包括多个站开口的多站处理腔室盖。站分离净化通道围绕站开口。多个成角度的净化通道将站开口与相邻的站开口分离。盖支撑梁可以补偿腔室盖主体的挠曲。

公开(公告)号：CN112714949A

公开(公告)日：2021-04-27

申请号：CN201980060825.3

申请日：2019-09-27

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 德瑞蒂曼·苏巴·卡什亚普 ,  戈普·克里希纳 ,  桑吉夫·巴鲁贾 ,  迈克尔·赖斯

IPC: H01L21/67

Abstract: 描述了包括多个站开口的多站处理腔室盖。站分离净化通道围绕站开口。多个成角度的净化通道将站开口与相邻的站开口分离。盖支撑梁可以补偿腔室盖主体的挠曲。